2015测量技术_表面测量技术.pdfVIP

第三章 表面分析技术 表面科学是一门迅速发展起来的边缘科学，涉及到物理学、化学 和生物学中的许多领域，近年来也进入环境科学领域。表面分析方法 是研究表面的形貌、化学组分、原子结构（即原子排列）、原子态（即 原子运动和价态）、电子态（或电子结构）等信息的一类实验技术。 表面分析方法大约有一百多种，这里只介绍在环境科学研究中最重要 和常用的几种方法，即电子显微镜、二次离子质谱和光电子能谱。 3.1 基本概念 3.1.1 表面的定义 表面分析的研究对象是物质的表面，因此有必要对表面加以定 义。如果不算等离子态的话，物质有三种状态：固态、液态和气态， 它们都有一定的存在范围。在表面分析中，表面定义为固体与真空、 气体或液体之间的边界层。表面不仅仅由固体的最外层原子或分子组 成，而且还包括一个从固体最外层到固体内部成分不断变化的非均一 的过渡层，因而表面可以是几个甚至几十个原子层厚。 由于表面是固体的终端，在表面向外的一侧没有近邻原于，表面 原子有一部分化学键伸向空间形成“悬挂键”，因此表面具有很活跃的 化学性质。固体内部三维周期势场在表面中断，因此表面原子的电子 状态也和体内不同，使表面具有某种特殊的力学、光学、电磁、电子 和化学性质。 1 3.1.2 表面分析法的类型 表面分析就是用一束“粒子”或某种手段作为探针来探测试样表 面，在探针的作用下，从试样表面发射或散射粒子或波，检测这些粒 子或波的特征和强度，就可以得到有关表面的信息。粒子或波可以是 电子、离子、光子、热辐射或声波等。表面分析方法可以按探测“粒 子”或发射“粒子”来分类，例如，探测粒子和发射粒子都是电子，则 称为电子能谱。 固体表面的化学成分明显地不同于固体内部或整体。在许多科学 和工程领域，固体表面层的化学成分比物质整体的成分更为重要。表 面分析方法可以提供固体表面层的定性和定量信息，此表面层厚度为 0.x~x nm(纳米) 。不同粒子在试样中的穿透深度不同，例如 1 kV 能量 的电子束的穿透深度为 2.5nm ，而同能量光束的穿透深度高达 l000 nm 。因此，一般说来不会用探测粒子和发射粒子同为光子的分析方 法来进行表面分析。 3.1.3 表面分析中的取样 表面分析中有三种取样方法。第一种是将探测粒子聚集到试样 的单个小区域并观察发射粒子，通常此斑点用光学显微镜来选择。第 二种是表面成像，用移动的探测粒子束在试样表面区域光栅扫描，即 首先直线横扫，然后回到起点，往下移动一格，开始第二条直线横扫， 如此反复直到扫描整个区域，观测到发射粒子束的改变。成像可以是 线性的或二维的。第三种方法是深度剖面方式，探测粒子束轰击试样 2 表面并剥蚀试样，因而可以提供以深度为函数的表面成分分析数据。 3.1.4 表面污染 表面分析中常遇到的一个问题是被测定试样因吸附周围气氛中的 组分而污染，如氧气、水、二氧化碳。只有在超高真空中，被研究的 表面才不会有周围气氛污染。要研究真正的表面，必须设法彻底清除 表面污染，得到“原子清洁” 的表面。清洁过程可以包括：高温加热试 样；用惰性气体离子束轰击试样表面；用磨蚀剂机械打磨和抛光试样 表面；在不同溶剂中超声清洗；把试样置于真空除去氧化物。除气氛 污染外，探测粒子束在分析测定过程中也会污染试样。由探测粒子束 引起的损伤取决于探测粒子束粒子的动量，因此离子引起的损伤最 大，对试样的污染也最大，而由光子引起的最小。 3.2 电子显微镜 在许多领域，诸如化学、材料科学、地质学和生物学，固体表 面的物理性质的详细了解非常重要。表征表面的传统方法是至今仍广 泛应用的光学显微镜。但是光学显微镜的分辨率受衍射效应影响仅接 近至光波长。电子显微镜和电子探针都是以光栅扫描方式用聚焦很细 的电子束或探针扫描固体试样的表面，前者检测二次电子而提供试样 形貌信息，后者则检测和分析 X 荧光而提供试样的定性和定量元素 分布信息。 3.2.1 基本原理 用一束具有能量的电子轰击固体表面，两者相互作用可以分为两 3 类：弹性作用；非弹性作用。受激发的固体随之发射多种信号，包括 背散射、二次和俄歇电子、x 射线荧光和其