磁控溅射阴极结构与工艺-GENCOA.pdf

关于溅射阴极与工艺的分析报告 (For Surfacility成都研修班) Gencoa 工艺工程师 黄汉乐 (Hugo Huang) hugo@ 2016-10-22 GENCOA Key Company Facts • GENCOA is a private limited company (Ltd) • 成立于 1995 by Dr Dermot Monaghan • 公司位于英国利物浦 •GENCOA是一个专业做阴极，离子源，以及speedflo 的公司 •GENCOA 目前员工38人 • （是目前全世界专业只做阴极配件最多人的公司） 6 design (Creo 3D CAD) 8 process development simulation 14 assembly test 4 sales tech support (2 Asia based) 其中Hugo是亚洲的工艺/产品工程师 3 administration accounts 3 hardware software (Speedflo) • 全球销售阴极数量达3000多个 • 全球销售speedflo达1000台，在反应溅射控制市场占比95% 以上 GENCOA 2015年新建的工厂 GENCOA新工厂将 2016 3 20 年 月 日落成。 总占地面积为2600平 方米 包括设计部办公室， 现代化组装厂以及 RD实验室 Gencoa offer the following range of products process technology for the thin film industry developed over the last 20 years Planar Magnetrons Plasma Pre- Rotatable Treaters Magnetrons Reactive Gas Pulsed Control Effusion Cells 磁控溅射的阴极类型 按形状分： ① 平面圆形阴极，主要是实验室研发设 备。 ② 平面矩形阴极，主要是生产设备 （任 意长度）。 ③ 靶材旋转圆柱阴极，主要是大中型生 产设备 （长度4米）。 ④ 磁棒旋转圆柱阴极，主要是管状镀膜 设备 （长度4米）。 磁控溅射的阴极类型 按磁场设计分 平衡磁场 非平衡磁场 高利用率