低温等离子体诊断.doc

表7． 电气 学院（系、所） 研究生课程简介 课程名称：低温等离子体诊断 131.520 英文名称：Diagnostics of low temperature plasma 课程类型：□讲授课程 □实践（实验、实习）课程 □研讨课程 □专题讲座 □其它 考核方式： 开卷考试 教学方式：板书 适用专业： 理工专业 适用层次： 硕士 □ 博士 □ 开课学期： 第一学期 总学时/讲授学时： 48 / 48 学分：3 先修课程要求： 《大学物理》《电磁场》《电动力学》 课程组教师姓名 职 称 专 业 年 龄 学术专长 刘明海 教授 等离子体 44 等离子体应用技术 程之峰 讲师 等离子体 26 等离子体应用技术 卢新培 教授 电气 40 等离子体源及其诊断 课程教学目标： 教学大纲：（章节目录） 着重于低气压等离子体工艺中的各种诊断原理和实用技术的介绍，通过本课程的学习，掌握气体放电等离子体参数的常用测量方法和操作技能，为从事低温等离子体工业应用打下必要的基础。本课程讲授的等离子体诊断技术多为低气压范畴，但对大气压放电等离子体的参数测量也有重要的借鉴作用。 第一章．概述 6学时 1. 气体放电的基本特性 2．低温等离子体的产生与应用 3. 低温等离子体诊断技术概述 第二章．静电探针技术 12学时 等离子体的鞘层特性 静电探针诊断原理与技术 探针特征曲线的影响因素 双、三探针测量技术 导纳探针测量技术 发射探针测量技术 第三章．微波诊断技术 14学时 微波传输特性 微波在等离子体中的传播特征 微波干涉技术的测量原理与技术 干涉仪的类型 反射法测量技术与反射计 微波吸收探针 第四章．光学诊断技术 16学时 1. 原子辐射基本原理 2.分子辐射基本原理 等离子体辐射基本原理 光栅的工作原理 5. 光学诊断的基本硬件和使用方法 教材： 项志遴，俞昌旋，高温等离子体诊断技术，上海上海科学技术出版社, 198I.H.HUTCHINSON，principles of plasma diagnostics. CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS .1987 5. Hans R. Griem, Principles of Plasma Spectroscopy 6. Gerhard Herzberg, F.R.S Molecular spectra and molecular structure 注：每门课程都须填写此表。本表不够可加页 √ √