可应用於辅具弱电磁信号检测之三维螺线管微元件.PDF

可應用於輔具弱電磁信號檢測之 三維螺線管微元件 張興政 林榮志 劉泓擇 陳雅惠 張一楠 逢甲大學自動控 逢甲大學電機與 逢甲大學自動控 逢甲大學電機與 逢甲大學電機與 制工程學系 通訊工程博士學 制工程學系 通訊工程博士學 通訊工程博士學 教授 位學程博士生 碩士生 位學程博士生 位學程博士生 hcchang@. jimdavislin @yaho joeloveyou_you@ yahchen@ enchung@ tw .tw .tw .tw 摘要 機電異常信號檢測。 本研究設計製作三維微螺線管結構， 2. 操作原理 可用於弱電磁信號檢測 。微結構依不同材 電流通過電感線圈產生磁場 。依法拉 料 、線圈與間距模擬與設計 ，晶片面積為 第定理 (Faraday’s law)，當磁場變化時 ，電 10 mm × 10 mm ，三維微螺線管尺寸為3 感線圈電流變化 ，電感值與線圈關係式 ， mm × 0.15 mm ，線圈數30與線寬50 μm。本 如(1) 式所示。 微螺線管 元件信號接收絕對功率為 -34.8 N 2 A dBm ，感測磁場靈敏度為 0.58 μT/mV。可 L 0 r (1) l 為醫療輔具弱電磁信號檢測 接收裝置 ，有 其中μ為真空導磁係數 ，μ為相對導磁係 0 r 效增加訊號分辨率 ，防止機電機構突發故 數 ，N為線圈數 ，A為鐵芯截面積 ，l為螺線 障 。 管長 。 關鍵字 ：輔具 機電信號 、微螺線管 、異常 封閉線圈感應電動勢(v) 等於穿過線圈 電磁 波檢測 。 磁通量 (的變化率) ，如(2)式所示。 di d 1. 前言 v L N (2) dt dt 近代機電醫療輔 具装置發展 趨向輕 、 因此 ，微螺旋電感可執行 天線接收信 薄、短 、小與準確控制 ，微機電系統己被 號功能 ，拾取微弱電磁波改變信號 ，分析 充分應用。傳統 大面積螺旋電感易產生寄 系統操作是否異常。 生電容與渦流效應。體積小與低消耗功率 之三維螺線管感測器 ，可有效改善電感性 3. 微螺線管設計 能 。利用微系統技術與灰階光罩製程，製 作微線圈應用於三軸磁力感測器 ；鐵芯磁 本微螺線管使用矽晶基底 ，在 10 mm 力計應用於機器人關節彎曲角度量測；微 ×10 mm面積設計 4 組不同結構微螺線管。 LC振盪器產生固定振盪磁場輸出[1-3] 。利 電感響應與線圈數和 導磁率成正比 。以串 用高阻抗玻璃基板 3D電感器 ，減少寄生電 聯構成不同線圈數 ，分別設計反相串聯 、 容 ；電鍍高導磁鎳鐵薄膜磁核 ，低介電常 同相串聯與反相導磁屏蔽串聯結構 。反相 數聚亞醯胺的絕緣材料 ，實現高性能螺線 導磁屏蔽串聯結構是具有與反相串聯的特 管電感器 。在矽基背向蝕