基于返波振荡器的光学材料参数高精度测量-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ １１ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．１１ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ １１ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ２００９ 基于返波振荡器的光学材料参数高精度测量 李雅卓，尚艳丽，陈海滨，何金龙，洪治 （中国计量学院 太赫兹技术与应用研究所，杭州 ３１００１８） 摘 要：以返波振荡器作为太赫兹波辐射源，搭建了一个基于ＦａｂｒＰｅｒｏｔ干涉原理的光学材料参 　 ｙ 数测量系统 利用返波振荡器的可调谐特性，测量了样品的透射谱，并提出了精确提取材料光学参 ． 数的方案 该方案包括：基于模拟退火的光学材料介质常数寻优算法，针对样品厚度误差的厚度优 ． 化方法以及根据测量系统特点设计的峰谷权值优化 并以半导体砷化镓（ ）样品的光学材料参 ． ＧａＡｓ 数测量为例，验证了材料光学参数提取方案的有效性． 关键词：太赫兹光谱；返波振荡器； 效应；光学材料参数 ＦａｂｒＰｅｒｏｔ ｙ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４３４．３ Ａ １００４４２１３２００９１１２９０９４ 　　　　 　　　　 ２００ ３００ＧＨｚ，通过多个返波管组合或谐波技术可 ～ ０ 引言 　 获得从 的光谱测量 使用 作 ０．０３ １．５ＴＨｚ ． ＢＷＯ ～ 太赫兹波（ ， ）光谱仪能够测量多 为 辐射源，对材料光学参数进行透射测量，可 ＴｅｒａｈｅｒｔｚＴＨｚ ＴＨｚ 种材料的物理、化学特性 如对半导体材料的复折射 通过搭建 干涉仪或 干 ． ＦａｂｒＰｅｒｏｔ ＭａｃｈＺａｈｎｄｅｒ ｙ 率测量，可获得其掺杂浓度和载流子迁移率等参 涉仪来实现．ＦａｂｒＰｅｒｏｔ干涉仪结构简单、测量速 ｙ ［ ］ １２ 数 ；对皮肤组织复折射率的测量可准确分辨良性 度快，通过测量透射谱可提取与频率成线性关系的 ［ ］ ３４