射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断-图学学报.PDF

第27 卷 第2 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.27, No.2 2 0 0 7 年 6 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics June 2007 文章编号：0254-6086(2007)02-0156-07 射频感应等离子体的 Langmiur 探针和光谱诊断 张 健，任春生，齐雪莲，王友年 （大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连116023 ） 摘 要：用Langmuir 探针对射频（13.56 MHz ）感应等离子体进行了诊断，给出了Ar 等离子体轴向和径向 参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的 750.3nm 谱线强度随气压在轴向的变化，其变化 趋势与Langmuir 探针测量结果的变化趋势相一致。测量了氩离子的434.8nm 谱线强度随气压在轴向的变化并获 得了氩离子的 434.8nm 谱线强度与氩原子的 430.0nm 谱线强度的比值在轴向三个不同位置的变化。从测得的结 果可知：在放电室中上部形成了均匀稳定的高密度等离子体，在靶附近有所降低，在中部以下等离子体密度逐渐 变低；在径向6~7 cm 以内的区域等离子体参数变化不大，形成了均匀稳定的等离子体，等离子体参数在器壁处 变化明显。 关键词：Langmuir 探针；发射光谱；感应耦合等离子体；等离子体参数 中图分类号：O539; O536 文献标识码：A 1 引言 Tuszewski等人[8]通过离子饱和电流得到离子的密 感应耦合等离子体是一种低气压、高密度等离 度，与有微波干涉计测得的电子的密度作了比较。 子体，采用无电极放电产生。在材料处理方面，感 在只关心等离子体参数的相对值及其随放电 应耦合等离子体源（ICPs ）与传统的方法相比有技 条件的变化时，广泛采用发射光谱测量技术。这是 术上的优势，如在刻蚀和薄膜沉积方面[1,2] 。近年 一种无污染、设备简单、易于控制的等离子体诊断 来，对感应耦合等离子体源作了许多研究，但各个 方法。在光谱诊断方面用这种方法已经做了大量了 系统的结构和大小不同，工作气体类型和气压也不 工作[9~11] 。我们用两种方法对ICP实验射频感应耦 相同，因此得到的结果特殊性较大，可比性差，且 合等离子体进行了诊断，得到了Ar等离子中一定功 [3] 率下参数随气压和放电室中位置的变化。 测量的参数范围比较窄，还存在不确定性等 。 为了保证ICPs过程的可控性和重复性，需要对 ICPs等离子体参数如离子密度n 、电子温度T 和等 2 实验装置 i e 离子体电势V 有更深的了解。在对ICPs的实验研究 图1 为ICP实验装置图。射频电源为SY型射频 p 中，广泛应用了Langmuir探针的测量。Spolaore等 功率源，输出功率范围为 0~5kW ，射频电源通过 人用不同收集面积的探针对磁控溅射等离子体作 匹配电路与放电室相连，通过调节匹配网络使功率 了诊断，得到了等离子密度、电子温度和等离子体 反射降低至最小。实验采用柱面天线耦合，天线由 [4] [5] 三匝空心铜管绕制而成，在管内通冷却水以降低射 电势随功率在轴向的变化 。Hopwood等人 对等 离子体进行了系统的诊断，得到了离子密度、电子 频电流加热造成的天线的温升。放电室为高 温度和等离子体电势随功率和气压的变化。姚若河