应用于硅基等离子天线的LPIN二极管的自加热效应.PDF

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2017-05-27 发布于天津
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应用于硅基等离子天线的LPIN二极管的自加热效应

ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲＯＰＴＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＶｏｌ．３６Ｎｏ．５Ｏｃｔ．２０１５　　  光电器件应用于硅基等离子天线的Ｌ二极管的自加热效应ＰＩＮ刘，，，，，会刚梁达张时雨廖沁悦任立儒耿卫东　（，）南开大学电子信息与光学工程学院微电子工程系天津３０００７１：，摘要介绍了ＰＩＮ二极管及其在硅基等离子天线方面的应用从理论上分析了ＰＩＮ二ＬＬ　　极。管自加热效应及其对本征区载流子浓度的影响仿真分析了不同埋层材料对二极管ＳＯＩＬＰＩＮ。，本征区载流子浓度的影响仿真结果显示ＰＩＮ二极管的自加热效应会降低其本征区载流子浓Ｌ，，，，，度通过改变埋层的材料增加埋层的热导率可以减弱自加热效应从而增加本征区载流子浓度提高硅基等离子天线效率。：；；；；关键词硅基等离子天线ＰＩＮ二极管自加热效应载流子浓度埋层Ｌ　中图分类号：文献标识码：文章编号：（）Ｎ３０３００１－５８６８２０１５０５－０６９８－０６ＴＡ１　　ｅｓｅａｒｃｈｏｎＳｅｌｆｅａｔｉｎＥｆｆｅｃｔｏｆＬＰＩＮＤｉｏｄｅｓｆｏｒＳｉｌｉｃｏｎａｓｅｄＰｌａｓｍａＡｎｔｅｎｎａＲｈｂ　　　　　　　　　－ｇ－　Ｌ，，，，，ＩＵＨｕｉａｎＬＩＡＮＧＤａＺＨＡＮＧＳｈｉｕＬＩＡＯＱ