钝化处理对]3E基OK反向漏电流特性的改善-中国LED网.PDF

!KL#/EM/N (NKOK/NE#/! P*4JIQE*JI B 0JI%%R ! @ 材料、结构及工艺 钝化处理对]3E基OK反向漏电流特性的改善 薛 松!韩彦军!罗 毅 ! ! 清华大学 电子工程系 集成光电子学国家重点实验室#北京 $ $%%%T 摘 要! 通过采用硫代乙酰胺! 溶液浸泡和沉积 薄膜对干法刻蚀后的 P1 P)-1 )3- ! ! ( !