微量气体定量分析的新方法_光腔衰荡光谱.pdf

第 25卷第 1期 低 温 与 特 气 Vol25, No1 2007年 2 月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Ga se s Feb, 2007　 分析与测试 微量气体定量分析的新方法 : 光腔衰荡光谱 阎文斌 (虎威光学仪器公司 , 美国 宾西法尼亚 沃灵顿 18976) 摘要 : 包括半导体制造业在内的许多工业应用要求高纯度气体具有最少的杂质 。微量水分的分析特别富有挑战 性 。光腔衰荡光谱法不但可以快速 、准确地分析包括水分在内的微量杂质 , 而且不需要标准样气 。对光腔衰荡 光谱法作了简要介绍 。 关键词 : 光腔衰荡光谱 ; 微量气体分析 ; 微量水分分析 ; 绝对测量法 中图分类号 : TQ0 165 + 1 文献标识码 : A 文章编号 :(2007) 0 1003504 A New Techn ique For Trace Ga s Ana ly ses: Cav ity R ingD own Spectroscopy YAN W enB in ( Tiger Op tic s, W arrington 18976, U SA ) A b stract: H igh pu rity ga ses are requ ired to have m in im al con tam inants by m any indu strial app lication s, including sem i conductor m anufacturing. Trace moistu re analysis is p articu larly challenging. Cavity ringdown sp ectro scop y offers fa st and accu rate analysis of trace con tam inants including mo istu re, w ithout the need to p rovide a calibration standard. Th is article is a brief in troduction to the techn ique. Key W ords: cavity ringdown sp ectro scopy; trace gas analysis; trace mo isture analysis; calib ration free 1　介 　绍 这个挑战要求微量气体分析仪不仅应具有高灵 敏度 、准确度和快速响应速度 , 而且要能够经受腐 微量气体杂质定量分析在许多领域都非常重 蚀性气体 。现有的仪器很难满足所有这些要求 。光 要 , 例如光谱学 、化学分析 、医疗诊断、环境监测 腔衰荡光谱 ( CRD S) 是少数能达到上述要求的一 和工业生产中的污染物控制等 。在过去 20 年间 , 种基于激光的光谱技术 。第一台基于光腔衰荡光谱 随着半导体产业的进步 , 半导体生产所用的气体中 (CRD S) 原理的仪器 , M TO 1000H O ,