降低黄光激光器件的阈值电流-化合物半导体.PDF

科技前沿 | Research Review 降低黄光激光器件的阈值电流 采用一种脊型波导结构可降低BeZnCdSe 基黄光激光器件的阈值电流 两名日本研究者通过采用一种脊型波导结构成功地降低 种三明治结构。然后将由n 型BeMgZnSe 覆盖层以及一对 了BeZnCdSe 基黄光激光器件的阈值电流，这项改进 BeMgZnSe 层和ZnSe:N 层形成的短周期超晶格p 型覆盖层 将有助于这种激光器件的商品化，能使其在医疗领域获得 进行包覆。 应用。 在外延晶圆上制作的这种脊型波导激光器件的台面宽 文章的通信作者，日本产业技术综合研究所（AIST ） 度是由电子束光刻制作完成，之后淀积金属层并且利用剥 的Ryoichi Akimoto 对此解释道：“在视网膜治疗上常使用黄 离（lift-off ）工艺来制作Ti/Pt/Ni 金属叠层。这个金属层同 色激光，例如氩- 氪气体激光和基于非线性波长转换的激光”， 时也充当了后续干法刻蚀过程中的掩膜，并形成与p 型层 “激光二极管由于具有低成本、低功耗和易操作等优势，也 的欧姆接触。采用电感耦合等离子体（ICP ）刻蚀出深度为 可在这种新兴领域中获得应用”。