材料近代测试方法第五章：表面成分分析.pptVIP

材料检测方法 概论 ?? 表面及表面科学 固体的表面、或者说界面， 在人们的社会实践中起着极为重要的作用。 表面科学的研究，对整个科学技术的发展具有重要的意义。 表面科学包括表面物理、表面化学、表面电子学、表面生物学等。 概论 ?? 表面及表面科学 固体表面：物体与真空或气体的界面。 固体表面可以指从单一的第一个原子层到几个原子层厚度的表面层，甚至深达几个微米的表面层。 在热力学平衡的条件下，固体表面的化学组成、微观结构、原子振动状态等均会与固体内部产生一定的差异。 概论 ?? 表面及表面科学 Since it requires energy to terminate the bonding, the surface is energetically less stable than the bulk. 概论 ?? 表面分析技术 表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。 概论 ?? 表面分析技术 一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 概论 ?? 表面分析技术 概论 ?? 表面分析技术 概论 ?? 表面分析技术 概论 ?? 表面分析技术 概论 ?? 表面分析技术 概论 ?? 表面分析技术 俄歇电子能谱 引言 1925年Pierre Auger就在Wilson云室中发现了俄歇电子 1953年J.J.Lander首次使用了电子束激发的俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy, AES) 1967年在Harris采用了微分锁相技术，使俄歇电子能谱获得了很高的信背比后，才开始出现了商业化的俄歇电子能谱仪 俄歇电子能谱仪已发展为具有很高微区分辨能力的扫描俄歇微探针（Scanning Auger Microprobe, SAM） AES的特点 表面性（1-2nm） AES具有很高的表面灵敏度，其检测极限约为10-3原子单层 可以同时分析除氢氦以外的所有元素 半定量分析表面成份 化学价态分析 微区分析 界面分析 AES原理 俄歇电子的产生 从图上可见，首先，外来的激发源与原子发生相互作用，把内层轨道（W轨道）上的一个电子激发出去，形成一个孔穴。外层（X轨道）的一个电子填充到内层孔穴上，产生一个能量释放， 促使次外层（Y轨道）的电子激发发射出来而变成自由的俄歇电子。 AES原理 俄歇动能 从俄歇电子跃迁过程可知，俄歇电子的动能只与元素激发过程中涉及的原子轨道的能量有关，而与激发源的种类和能量无关。 俄歇电子的能量可以从跃迁过程涉及的原子轨道能级的结合能来计算。 AES原理 俄歇电子强度 俄歇电子的强度是俄歇电子能谱进行元素定量分析的基础。 但由于俄歇电子在固体中激发过程的复杂性，到目前为止还难以用俄歇电子能谱来进行绝对的定量分析。 俄歇电子的强度除与元素的存在量有关外，还与原子的电离截面，俄歇产率以及逃逸深度等因素有关 AES原理 激发电压 在俄歇电子的激发过程中，一般采用较高能量的电子束作为激发源。在常规分析时，电子束的加速电压一般采用3kV。这样几乎所有元素都可以激发出特征俄歇电子。但在实际分析中，为了减少电子束对样品的损伤或降低样品的荷电效应，也可以采取更低的激发能。 对于有些元素，由于特征俄歇电子的能量较高，一般可采用较高的激发源能量如5keV。在进行高空间分辨率的微区分析时，为了保证具有足够的空间分辨率，也常用10keV以上的激发能量。 此外，还必须注意元素的灵敏度因子是随激发源的能量而变的，而一般手册能提供的元素灵敏度因子均是在3.0keV, 5.0 keV和10.0 keV的数据。 总之，在选择激发源能量时，必须考虑电离截面，电子损伤，能量分辨率以及空间分辨率等因素，视具体情况而定 AES原理 俄歇跃迁几率与X射线荧光几率 从图上可见，当元素的原子序数小于19时（即轻元素）, 俄歇跃迁几率（PA）在90%以上。直到原子序数增加到33时，荧光几率才与俄歇几率相等。 样品制备 俄歇电子能谱仪对分析样品有特定的要求，在通常情况下只能分析固体导电样品。经过特殊处理，绝缘体固体也可以进行分析。 粉体样品原则上不能进行俄歇电子能谱分析，但经特殊制样处理也可以进行一定的分析。 由于涉及到样品在真空中的传递和放置，待分析的样品一般都需要经过一定的预处理。 主要包括样品大小，挥发性样品的处理，表面污染样品及带有微弱磁性的样品等的处理。 EAES与 XAES的比较 用电子束作为激发源的优点是：（1）电子束的强度大于X射线源多个数量级；（2）电子束可以进行聚焦，具有很高的空间分辨率；（3）电子束