低真空镀膜仪.PDFVIP

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2017-05-29 发布于天津
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低真空镀膜仪.PDF

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低真空镀膜仪仪器基本信息仪器中文名低真空镀膜仪仪器英文名 Low vacuum coating machine 仪器型号 Leica EM ACE 200 生产厂家德国徕卡工作状态正常主要技术指标 -3 真空度 ≤7 ×10 mbar 工作距离 30mm～100mm 溅射电流 0-150mA 可调样品仓 140mm （宽）×145mm （深）×150mm （高）主要配置与附件真空泵 adixen 2005SD，双级旋片 3 靶材 Pt ，Φ54mm，99.99%，21.5g/cm ，厚0.17mm 功能用途及样品要求功能及特点主要用于扫描电镜前处理；利用离子溅射镀金属膜来增加样品的导电性，以便减少电镜观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪比。测品要求干燥的薄膜、粉末、块体等。联系方式仪器安放地点深圳西丽大学城北大园区G 栋208A 仪器负责人宋春艳联系电话 136 6263 8108 Email songcy@pkusz.edu.cn 仪器预约预约说明接受校内预约，校外预约请直接联系仪器负责人收费说明见收费标准