具有分形结构界面的固体膜粘滞层基底层状结构的变形.pdfVIP

固体力学学报 第 28 卷第 2 期 Vo l. 28 No. 2 ACTA 孔1ECHA芮ICA SOLIDA SINICA 2007 年 6 月 June 2007 具有分形结构界茵的 固体膜/粘滞层/基底层状结构的变形赘 颜易琼1 郑百林1 贺鹏飞1 ** 刘子顺2 (同济大学航空航天与力学学院，上海， 200092) 俨新加坡高性能计算机中心，新加绞〉 摘 要 考虑固体膜/粘滞层/基底结构中粘滞层/基底界面不平整对结构的稳定性，特别是因体薄膜稳定爵 的裙皱变形产生的影响.考虑自仿射和峰状的粗糙界面.自仿射的粗糙界面由振蝠和分形维表征，振幅和分形维越 大对结构平衡的影响越大;峰状界面由振幅和平均峰间距表征，振幅越大对结构平衡影响越大，平均峰闰距越小对 结构平衡影响越大.进而，用有限元方法模拟分析该结构，得到界面子整和不平整两种情况下固体膜窟内失稳力. 结果表明，粘滞层/基底不平整情况下结构的平衡状态与假设该界面为理想平整面所得的结果有很大不同，在结构 尺寸较小的情况下不可假设该界面为理想平整来考察该结构的稳定性. 关键字 固体膜/粘滞层/基底结构，分形，平衡，自由能，有限元 o 51 言 纹的临界波数.@是，这些研究都假设粘滞层/基底 噩体薄膜/粘滞层/基或结构性日i翠1)经常应用 之闰界画为凡何理想的平面. 于微电子系统、生物学及无学器件中口.2J 此类薄膜 事实上，所有的界雷都不是理想平整的窜，特别 通常自沉积或溅封等方法制备而或，髓备过程中由 当考虑的结掏的表在尺寸(如固体薄膜的厚度或桔 于温度、藏射速度等工艺参数的影啕因素，国体薄膜 滞层的草度)在微米甚至纳米尺度时，即使通过特殊 的本征性薄膜内力总是存在的.不同的材料和不同 处理而得冀的界面乎整度和此表征尺寸相比，仍然 的工艺过程对应着不同的应力状态，黯国体薄摸的 不可忽略.国此有必要考虑基底材料/粘器层之间界 残余应力可能为压应力或拉应力.在压应力的情况 面的不平整姓对国体薄摸/槌滞层/基底结构稳定性 的影响(图 2) ， 下，稳定的国捧薄摸不再保持为理想曲平面，丽是通 过变影市形成裙皱状，并使得下面的粘滞层流动.此 本文将讨论一鼓性前界面结构，即假设该结构 类问题一鼓称之为结掏的稳定性闰题，已有较多的 中的粘潇层/基窥界面为具有自彷射状特性的分形 研究[叫，并且给出了固体薄膜裙皱稳定时产生的波 结构和蜂状形的粗糙结构.此类不平整形态被广泛 固体膜 固体膜 基1慈 (a) (b) 国 1 (的团体膜/粘滞层/基底结构(固体膜受压裙皱稳定) (b) 不平整的粘滞层/基底界面 祷 国家自然科学基金(1037207 1)资劫. 2006-03-23 收