微传热发展前沿.doc

绪 论 1、导 言 自然界各种物体的尺寸可归纳为图1.1，即小可至原子、分子和电子，大则至宇宙，其尺寸覆盖了从纳米(10-9m)到光年这样一个十分广阔的范围。以往研究得最多的是人类感官所能触及的对象，近几年来自然科学和工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进，人们的注意力逐渐从宏观物体转向那些发生在小尺度和／或快速过程中的现象及其相应器件上(见图1.2),其中微电子机械系统(MEMS)尤其取得了巨大成功，并正被拓展应用于各种工业过程。这类系统指的是那些特征尺寸在lmm以下但又大于1μm的器件，它集电子及机械元件于一身，并且要通过集成电路制造中所采用的批量加工方法制成。由图1.1可见， 微电子机械系统的尺寸比氢原子直径大四个量级，但又比传统人造器械尺寸小四个量级，纳米器件则进一步推进了微电子机械系统的小型化。由于现代制造与应用技术的持续进展，“微机械”或“纳机械”的尺寸正以超乎寻常的速度降低，而同时其性能却得到了保持甚至更好，各种令人惊讶的成就比肩接踵。发展至今，一些真正分子水平上的机器，如转子、齿轮、开关、闸门、转栅、马达等的制作甚至已经成为可能。正因如此，几乎所有从事微电子机械和纳机械系统研究与应用的人们都相信，一场革命正悄然来临，它不仅仅意味着“能量系统的微型化”，其意义远胜于此，因为建立尽可能紧凑而廉价的系统多少年来一直是工程实践的主旋律，为实现这个目标，人们付出了无数