义乌市单晶硅生产企业环保审批及排污状况的调查报告.PDF

义乌市单晶硅生产企业环保审批及排污状况的调查报告 义乌市环境保护监测站 摘 要：半导体器件生产工艺主要分为：分立器件制造单元、集成电路制造单元、 封装工艺单元，而单晶硅生产位于集成电路制造单元的第一道工序。由2009年12 月的检测数据可知义乌市的某单晶硅生产企业（9台单晶炉的规模下）的污染物除 了水中氟化物难以稳定达标排放外，其余污染物排放经现有处理设施处理后能够 达标排放。目前企业有16台单晶炉，尚未通过环保审批且处于环评报告补办过程 中，不具备建设项目竣工环保验收的条件。 关键词：单晶硅 生产企业 污染物排放 1 中国半导体行业现状与发展 半导体产品大致可分为三大类：分立器件、集成电路与光电组件，其中集成 电路就占了半导体近九成的比重。 目前，全球半导体产业由西向东出现转移。从2000年以来，中国集成电路产 业处于高速成长期。2007年我国半导体产业销售额达到了2086.4亿元，占世界半 导体市场的10.74%。其中，集成电路总产量为411.6亿块，比2006年增长22.6%； 产业销售额规模达1251.3亿元，比2006年增长24.3%。集成电路产业销售额约占 电子信息产品制造业销售额的2.49%，占世界集成电路市场的7.54%。预计十二五 规划的五年内，我国将以年均近20%的速度向前发展，产业规模达到约6000亿元， 届时中国将成为世界重要的集成电路制造基地之一。 至2007年，我国半导体企业总数达700家左右，其中IC（集成电路）设计业 500多家，IC 制造业30余家，封装测试业100多家，主要分布在上海、北京、江 苏、浙江等省市。产业群聚效应已经显现。长江三角洲地区正成为中国集成电路 重镇。随着国内IC 生产线的生产技术与工艺水平的不断提高，技术水平进入国际 半导体产业发展的主流领域，在集成电路工艺制造方面已拥有90纳米以上的大生 产技术，65纳米生产工艺技术也已经在试产阶段。从地域分布上来看，IC 产品主 要产自长江三角洲、京津环渤海湾和珠江三角洲地区。特别是长三角拥有国内55% 的IC 制造企业、80%的封装测试企业和有近50%的IC 设计企业。目前，长三角地 区已形成IC 设计、制造、封装、测试及设备、材料、试剂等配套的支撑业为一体 的较为完整的IC 产业链。 1 2 单晶硅生产概况 单（多）晶硅生产企业属于半导体器件制造业。半导体器件生产工艺主要分 为：分立器件制造单元、集成电路制造单元、封装工艺单元，而单晶硅生产位于 集成电路（IC）制造单元的第一道工序。 多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质 方面。例如，在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面，远不如单晶硅 明显；在电学性质方面，多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著，甚至于几乎 没有导电性。在化学活性方面，两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加 以区别，但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。 多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、 光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。 由于义乌市暂无多晶硅生产企业， 本文不对多晶硅作详细介绍。 单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸（300毫米）及18英寸（450 毫米）等。单晶硅按晶体伸长方法的不同，分为直拉法（CZ）、区熔法（FZ）和 外延法。直拉法、区熔法伸长单晶硅棒材，外延法伸长单晶硅薄膜。直拉法伸长 的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。目前晶 体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域， 广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机 等系列产品。目前晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成电路领域。 由于成本和性能的原因，直拉法（CZ）单晶硅材料应用最广。在IC 工业中所用的 材料主要是CZ 抛光片和外延片。存储器电路通常使用 CZ 抛光片，因成本较低。 逻辑电路一般使用价格较高的外延片，因其在IC 制造中有更好的适用性。 日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。中国硅材料工业生产技术水平仍 然相对较低，而且大部分为2.5、3、4、5英寸硅锭和小直径硅片。中国消耗的大 部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。目前，全世界单晶硅的产能为 1 万吨/年， 年消耗量约为6000吨～7000吨。未来几年中，世界单晶硅