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电子科技大学
电电子子科科技技大大学学
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微电子与固体电子学院
微微电电子子与与固固体体电电子子学学院院
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张庆中
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先修课程：集成电路工艺原理
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教材：
Stephen A. Campbell
《微电子制造科学原理与工程技术》，SStteepphheenn AA.. CCaammppbbeellll，
电子工业出版社
主要参考书：
《微细加工技术》，蒋欣荣，电子工业出版社
VLSI Technology, S. M. Sze
VVLLSSII TTeecchhnnoollooggyy,, SS.. MM.. SSzzee
《半导体制造技术》，Michael Quirk, Julian Serda，电子工业
MMiicchhaaeell QQuuiirrkk,, JJuulliiaann SSeerrddaa
出版社
第 章 微电子制造引论
1
第第 章章 微微电电子子制制造造引引论论
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第 章 微电子制造引论
1
第第 章章 微微电电子子制制造造引引论论
11
1.1
11..11 主要内容
1.1
11..11 主要内容
“ ”
大规模集成电路的制造技术涉及面极广，具有 大科学 的
““ ””
“ ”
““大科学””
性质，其发展依赖于基础材料、器件物理、工艺原理、精密光
学、电子光学、离子光学、计算机技术、超净和超纯技术、真
空技术、自动控制、精密机械、冶金化工等方面的成果。
1.2
11..22 制造技术在集成电路发
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