薄膜形成技术.PDF

特集 半導体製造技術 薄膜形成技術 ThinFilmFormationTechnotogY 薄膜形成技術は,半導体デバイスの高集積化･高機能化･高信頼化を実現す 菅原活郎* zぬ〟7匂5z留α紺αm 方オオcゐど′∂ 向喜一郎** 〟〝々α才 る上で重要な技術となっている｡この中で主要な多層配線技術,ゲート用薄膜 亀井常彰*** 7七び柁gαたど肋桝ピタ を取り上げた｡多層配線技術では微細化,多層化が進んでいる｡このため,高 大貫 仁****♪刀∂乃〝鬼才 密度電流に耐える高信頼配線としてAl材料･被着条件,金属膜積層構造,微細