脉冲激光沉积PZT.docx

脉冲激光沉积PZT/LSMO薄膜结构及输运特性的研究摘要锆钛酸铅（Pb(ZrxTi1-x)O3，简称PZT）材料因其具有优良的铁电、压电、热释电、电光和非线性光学等特性而备受关注。同时，PZT作为一类典型的铁电材料，其显著的反常光生伏打效应，为新型太阳能电池材料的研究创造条件。本文利用脉冲准分子激光在STO单晶基片上淀积了LSMO和PZT的.并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了PZT铁电薄膜和该多层膜的晶相结构，测量了PZT的铁电性能和介电特性。讨论了PZT/薄膜的制备工艺。以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响。在密封的液氮杜瓦瓶里用四探针法对薄膜的输运特性进行了测试，.关键词：PZT薄膜激光脉冲淀积电滞回线，漏电流Study on structure and Transport Characteristic of PZT/LSMO Thin Film By Pulsed-Laser DepositionAbstractLead (Pb (ZrxTi1-x) O3, called PZT) material because of its excellent ferroelectric, piezoelectric, , electro-optical and nonlinear optical properties of concern. Mea