微反射镜阵列在光束整形中的应用_杜猛.pdf

第 43 卷 第 4 期 红 外与激 光 工程 2014 年 4 月 Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014 微反射镜阵列在光束整形中的应用 杜 猛 1,2 ，邢廷 文 1 ，袁 家虎 1 ( 1. 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209 ；2. 中国科学院大学，北京 100049) 摘 要： 在激光的实际应 用中，需要利 用光束整形技术将激光 器的输 出光束调制 为期望 的光强分布 。 微机 电 系统的发展 为光束整形提供 了一种 解决方案 。采 用微反射镜 阵列 ，实现 了激光光束 的整形 。基 于随机化 的思想提出 了相应 的算法 ，分析 了算法在 不同单元数 目和不同噪声水平下的表现 ，为 实际应 用提供 了有价值 的参考依 据 。最后 ，建立 了实际的光路模 型 ，进行 了光线追迹 ，给 出单模高 斯 光束 以 及考虑噪声情况下的仿真 结果。分析 结果表 明，使 用微反射镜 阵列可以有效地 实现 不同输入 下的激光 光束整形 ，并且具有极 大的灵活性，为光束整形提供 了一种新 的手段 。 关键词： 光束整形 ； 微反射镜 阵列 ； 仿真 中图分类号： TH74 ；O435 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)04-1210-05 Application of micromirror array in beam shaping Du Meng1,2, Xing Tingwen1, Yuan Jiahu1 ( 1. Institute of Optics and Electronics ，Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China) Abstract: In the application of laser, the technique of beam shaping was used to modulate the beam to expected intensity distribution. The development of micro electronic and mechanic system provided a solution. The beam shaping was realized by the using of micro mirror array. Based on the idea of randomization, an algorithm was proposed for the application ，and the performance under different unit numbers and different noise levels was analyzed so as to present valuable reference in practical application. At the end, a practical optical system model was built and beam trace was performed, and the results under single -mode Gaussian beam and with -noise