紫外纳米压印用PMMA转移层膜的制备及性能.pdfVIP

与 显微、测量、微细加工技术设备 ， ， Microscope Measurement Microfabrication Equipment 紫外纳米压印用 转移层膜的制备及性能 犘犕犕犃 董会杰，辛忠，陆馨 （华东理工大学化学工程联合国家重点实验室，上海 ） ２００２３７ 摘要：以苯甲醚为溶剂，采用旋涂法制备 （聚甲基丙烯酸甲酯）转移层膜。当 ＰＭＭＡ ＰＭＭＡ 的质量分数为