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检测技术07
检测技术 第7章 电容式传感器
第二篇常用传感器的原理及应用
7章 电容式传感器
1.掌握传感器工作原理及特性
2.掌握测量电路
3.了解传感器的应用
机电学院
检测技术 第7章 电容式传感器
7.1 工作原理及特性
工作原理:将被测量转化为电容量变化。
e
两平行极板组成的电容器，
+ A 其电容量为:
+
+ C e 0 e r A
d
δ、A或 ε发生变化
时，都会引起电容的
d
变化。
机电学院
检测技术 第7章 电容式传感器
1、极距δ变化型 + +
+
+
+
+
C e 0 e r A
d
灵敏度：
dC e e A C
S 0 r
dd d 2 d
机电学院
检测技术 第7章 电容式传感器
了提高灵敏度，应使当d 小些还是大些？
0
其测量范围变大还是变小？
机电学院
检测技术 第7章 电容式传感器
工作特性：
u灵敏度s与极距的平方成反比，极距越小，灵敏
度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限
制。一般d ＝0.1～1mm左右。
0
u电容量C与极距δ呈非线性关系，为了减小非线
性误差，通常极距变化范围Dd/d »0.01～0.1。
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