两端叠层结构的中长波量子阱红外探测器鄢.PDFVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援怨 渊圆园员员冤摇 园怨愿源园员 两端叠层结构的中长波量子阱红外探测器鄢 霍永恒摇 马文全 摇 张艳华摇 黄建亮摇 卫摇 炀摇 崔摇 凯摇 陈良惠覮 渊中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室袁北京摇 员园园园愿猿冤 渊圆园员园年愿月员愿 日收到曰圆园员园年员园月员源 日收到修改稿冤 摇 摇 采用分子束外延技术生长了两个叠层结构的双色量子阱红外探测器结构袁并经过光刻和湿法刻蚀制作成两端 结构的量子阱红外探测器单元器件援 通过改变量子阱势垒高度袁势阱宽度袁掺杂浓度袁重复周期数等器件参数袁可以 使总电压在两个叠层之间产生适当的分布袁从而使器件表现出不同的电压响应特点援 光电流谱测量显示袁器件员随 着外加偏置电压可实现对于中波大气红外窗口渊猿要缘滋皂冤和长波大气红外窗口渊愿要员圆滋皂冤红外响应的切换袁器件 圆在不同的偏置电压下可以对这两个波段同时做出响应援 本文探讨了两端叠层结构量子阱红外探测器的工作原 理袁将其归结为探测器光导增益随偏置电压增大先增大后减小的变化袁以及总外加偏置电压在两个多量子阱层之 间的不同分布袁重点对于器件员的电压调制特征进行了分析援 同每个单元器件制作三个电极的三端结构相比袁两端 结构能够使双色量子阱红外探测器的器件工艺大为简化袁并且无需制作专门的双色读出电路袁从而可以降低成本袁 并能提高面阵器件的填充因子援 关键词院电压调制袁同时响应袁量子阱红外探测器袁双波段 孕粤悦杂院愿源援猿苑援 垣择袁苑源援圆缘援晕原袁愿缘援猿缘援月藻袁愿缘援远园援郧扎 阵规模较大时袁互联工艺难度大袁盲元率增大袁因而 员郾 引 言 增加了双色云孕粤 的器件工艺难度袁并且成本相对较 高援 为了简化双色器件制作工艺袁科研人员提出了 量子阱红外探测器 渊择怎葬灶贼怎皂 憎藻造造 蚤灶枣则葬则藻凿 电压调制型量子阱红外探测器的概念咱缘要怨暂援援 电压 责澡燥贼燥凿藻贼藻糟贼燥则袁匝宰陨孕冤利用电子在量子阱子带间的 调制型量子阱红外探测器器件结构与传统的单色 跃迁来实现对红外辐射的探测援 由于采用了技术成 量子阱红外探测器器件结构相同袁每个单元器件上 熟的芋鄄灾族半导体材料外延生长袁量子阱红外探测 只需制作两个电极援 其采用非对称或者耦合量子阱 器具有成本低尧大面积尺寸均匀性高尧容易制成大 结构形成多个子带袁随着偏压不同袁不同子带间的 的凝视型红外探测器焦平面阵列渊云孕粤冤袁而且容易 跃迁会分别占据优势袁从而对外表现出对探测波长 实现双色及多色探测袁因此被看作第三代红外探测 的电压调制效应援 但其波长调节范围较窄袁很难覆 器的有效候选者咱员要源暂援 相比于单色探测来说袁双色 盖两个大气窗口波段渊猿要缘滋皂 和 愿要员圆滋皂冤援 为 探测更有利于在复杂背景下探测到未知目标援 到目 了扩展探测波长的调节范围袁后来又引入了叠层结 前为止袁制作双色量子阱红外探测器时袁最常用的 构量子阱红外探测器的概念咱员园要员猿暂援 叠层结构量子 器件结构是三端结构袁即将探测波长不同的两个多 阱红外探测器器件由两个探测波长不同的多量子 量子阱渊皂怎造贼蚤责造藻择怎葬灶贼怎皂憎藻造造泽袁酝匝宰冤结构通过欧 阱红外探测器层组成袁两者通过高掺杂接触层连接 姆接触层生长在一起袁然后在每个单元器件上制作 起来援 本文中我们报道了两个叠层结构的量子阱红 三个欧姆接触电极袁其中一端为共用端袁将两个多 外探测器器件袁其中器件 员在不同偏压下探测波长 量子阱结构探测到的红外信息分别读取援 这种三端 能够分别在两个大气窗口波段渊猿要缘滋皂 和 愿要员圆 器件可以实现双色同时探