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微电流测量（nA级交流、直流）一、直流微电流测量基于I-V变换的弱电流测量方法是常用的弱电流检测方法，其中的反馈电流放大型测量电路结构较简单，转换的线性较好，电路频率响应特性较好，在加入有效的硬件和软件抗干扰措施后，可以提高测量精度和稳定性。因此测量的电路是按照基于反馈式电流放大器型I-V转换原理进行设计，其基本电路如图1所示。图1 I/V转换原理图假定运放为理想运放，利用运算放大器的虚地概念和结点电流代数和为0的定律得出 (1)输出电压Vo与测量电流Is成线性比侧关系，比例系数为Rf，因此根据放大要求选取Rf值即可获得所需的放大倍数。电流测量电路整体框架如图2，其中反馈电流放大电路采用的是两级放大方式。图2 电路整体框图由于待测电流信号为10-9A，所需放大倍数较高，若采用一级放大，则需要Rf约为1010Ω。当Rf过大时会产生较大的电阻热噪声电流，增大了分布电容，同时要求运放的输入电阻更大以减小分流；根据式(1)，一级放大后信号与输人为反相，所以采用两级放大电路，这样可以通过调整每一级放大倍数，来选择阻值适当的Rf，减小由Rf引起的误差；并通过两次电压反相，使放大电路的最终输出电压与输入信号同相，两级放大电路如图3。图3 两级放大电路图为减小噪声干扰和运算放大器负担，通常要求输出电压应比运算放大器的噪声电压值至少大两个数量级或更高；但输出电压太大，必然要增大Rf，同时增大对运算放大器性能的要求。所以第一级放大器输出电压应设计为50～100mV，由式(1)，Rf应为100MΩ。图3中Cf表示Rf引入的杂散电容，通常为0.5pF。当Rf为100MΩ时，电路的截止频率约为0.3kHz，严重影响放大电路的频率响应特性。为改进频率响应，可以引入补偿电容C来消除Cf的影响。根据运算放大器以及流入节点电流与流出节点电流相等特性，得出（2）由于Rf1为kΩ级电阻，其杂散电容可忽略，可得（3）代入式(2)，拉式变换并消去Vx(s)后，得出传递函数为（4）为消除Cf影响，取RC=RfCf，得（5）由式(3)可知，截止频率为无穷大，理论上频带已经扩展到整个区域，因此频率响应得到改善。通过RC网络补偿可改善系统的动态特性，实际中100kHz的带宽完全可以达到。但因为电路中还有其他的杂散电容，不可能被简单的RC网络完全补偿。为减小由大电阻引入的噪声电流和分布电容，Rf可采用T型网络结。第二级放大电路将第一级输出电压信号进一步放大，并反向输出，保证最终电压输出与检测的电流输入同相。第二级放大倍数为10倍，由式(1)，取Rf/R1为10。为消除背景噪声影响，在运放输出端和A/D转换电路之问加入双T型50Hz信号带阻滤波器将这个主要干扰谐波成分滤除，其电路如图4。图4 50 Hz带阻滤波电路图二、交流微电流测量微电流测量中，常用的方法有两种，分别是积分法和I/V转换法。这里介绍I/V转换法，随后加入由CA3140芯片组成带通滤波放大电路对I/V转换后的调制信号放大，再通过解调电路对信号解调，从而实现微电流测量。测量系统由移相电路、整形电路、单稳态电路、低通滤波电路组成。系统框图如图l所示：图5 测量系统框图测量系统中移相电路、整形电路、单稳态电路是基本电路，滤波电路中高通滤波器与低通滤波器级联构成带通滤波器，必须保证高通滤波器的下截止频率低通滤波器的上截止频率。带通滤波放大电路原理如图6所示。图6 带通滤波放大电路1. 高通滤波器输入级由C1、Rf构成高通滤波器，其传递函数是（6）将其转换成复数形式：其模等于（7）高通的截止频率是：当有10kHz险的交流调制信号通过时，将C1、Rf的参数代入（2）式，可得u+(s)的模约为0.82。2. 低通滤波器电容C2 为2μF，对于10kHz的信号来说其阻抗很小，相比电阻为275Ω的R2、C2的阻抗可以忽略，它的作用是使同相放大器只对10kHz交流信号起放大作用。这样，第一级放大的传递函数是：（8）其中令Au1(S)与Au1(S)’相比差个常量，将它们分别写成复数的形式，通过计算Au1(S)与Au1(S)’的幅频特性、相频特性关系式均相似（Au1(S)的模约为20.2，Au1(S)’的模近似20），可见Au1(S)与Au1(S)’的模近似相等，即放大倍数近似相等。整个放大电路的传递函数是由对式（8）的分析Au(S)可近似为其中R3C3 =5. 5×103 × 5× 10-10 =2. 75 × 10-6很小，类似R6C6、R9C9、R12C12的值很小，所以可上式乘积项中S2、S3、S4忽略。传递函数为把电阻电容的参数代人上式，整理得：此式符合低通滤波的传递函数。此系统特征频率是由此式可得fL＝ 14.5×103 Hz，所以此带通滤波放大电路的截止频率是频差由上述分析可知，主通道放大电