第3单元电容式传感器.ppt

请你思考 试举例你身边的小距离非接触测量的电容式传感器。 电容式传感器可否替代应变片式传感器，制成称重设备？考虑它的弹性元件应如何设计？ 电容测量时，引线与大地之间的杂散电容对被测电容影响较大，考虑四相检测电容转移式微电容测量线路可否克服上述问题。 试采用MATLAB/Simulink建立电容传感器的仿真模型，可调用现有的转换电桥模块Converting bridge和整流模块Rectifier等，观察输入输出值和准确度。 电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容变化量的一种传感器。实际上,它本身（或和被测物）就是一个可变电容器。 实例一：指纹识别传感器 指纹识别目前最常用的是电容式传感器，也被称为第二代指纹识别系统。 下图为指纹经过处 理后的成像图： 实例二：电容层析成像系统 变面积型电容式传感器 3.2.1.调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 3.2.2 运算放大器式电路 误差因素1：边缘效应 误差因素2：寄生电容 3.2.5 电容式传感器的应用 变极距型 适用于较小位移的测量，量程在0.01μm 至数百微米、精度可达0.01μm 、分辨力可达0.001 μm 。 变面积型 能测量量程为零点几毫米至数百毫米之间、线性优于0.5%、分辨力为0.01 μm 。 电容式角度和角位移传感器 的动态范围为 0.1″至几十度，分辨力约0.1″，零位稳定性可达角秒级，广泛用于精密测角，如用于高精度陀螺和摆式加速度计。 电容式测振幅传感器 可测峰值为0?50 μm 、频率为10 ? 2kHz，灵敏度高于0.01 μm ，非线性误差小于0.05 μm 。 电容式湿度传感器 湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制。 3.2.6 其他应用 1. 电容式键盘 常规的键盘有机械式按键和电容式按键两种 电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震荡脉冲允许通过的条件 理论上这种开关是无触点非接触式的，磨损率极小甚至可以忽略不计，也没有接触不良的隐患，噪音小，容易控制手感，可以制造出高质量的键盘 工艺较机械结构复杂 习题 画图并说明平板式电容传感器的工作原理。 画出电容式传感器的完整的等效电路及在高、低频激励下的等效电路。 分析电容传感器的误差因素，有哪些补偿方法？（边缘效应、寄生电容的消除） 单组式边面积型平板形线位移电容传感器，两极板相对覆盖部分的宽度为4mm，两极板间隙为0.5mm，极板间介质为空气，试求其静态灵敏度？若两极板相对移动2mm，求其电容变化量。 画出电容式加速度传感器的结构示意图，并说明其工作原理。 电容式位移传感器 （4～20）mA的直流输出信 电容式压力传感器 电容差压传感器电路图 电容式加速度传感器 电容差压传感器的主要性能指标为： ? 量程：0-100～0-700mmH2O；0-500～0- 3500mmH2O；0-3000～0-21000mmH2O； ? 精度：±0.2%； ? 测试温度：±40℃； ? 最大压力：1.4×107Pa。 人体接近式电容传感器 HM1500湿度传感器 当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。 2.液位计 3.料位计 电容料位计电路图 Sitrans LU 超声波 Sitrans LR 400 4线连续 FMCW雷达 Sitrans LC 500 电容 * * 2005年5月10 日 电容式指纹识别传感器 电容式指纹传感器有单触型和划擦型两种，是目前最新型的固态指纹传感器，它们都是通过在触摸过程中电容的变化来进行信息采集。 这两类电容式指纹传感器的工作原理为：当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时，电容会有所增加，通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米，间隔为50微米，电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺，并采用0.5微米工艺进行设计。 金属互连的第三层构成电容像素层，由氮化钛制成并覆盖着一层氮化硅，厚度仅为7000埃米。这种硬金属电极与抗磨涂敷层组合形成的传感器十分坚实耐用，使用寿命可以达到很多年。它们的用途主要有： 1 指纹检测 人类的指纹由紧密相邻的凹凸纹路构成，通过对每个像素点