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第3章 测试仪器与传感器 测试仪器与传感器——提纲 万用表——测试精灵 数字示波器—时域之眼 数字示波器—典型结构 数字示波器——无源探头 数字示波器——有源探头 数字示波器——采样率与带宽 数字示波器——XY模式 数字示波器——触发模式 示波器总结 频谱分析仪——频域之眼 频谱分析仪——频域分析 频谱分析仪——RBW 频谱分析仪——VBW 频谱分析仪——灵敏度提高 频谱分析仪——手机频谱 测试仪器与传感器——提纲 信号源——干净之源 信号源——干净之源 信号源——功率与频率 信号源——相位噪声 信号源——任意波形 矢量网络分析——S域之眼 矢量网络分析—射频信号在器件中的传播 矢量网络分析—S参数定义 矢量网络分析—射频信号在器件中的传播 矢量网络分析——校准 矢量网络分析——误差 矢量网络分析——校准件 测试仪器与传感器——提纲 传感器——传感器分类 传感器——传感器分类（续） 传感器——MEMS 传感器 传感器——MEMS静电电动机 传感器——MEMS陀螺仪 传感器——就在身边 传感器——就在身边 传感器——触摸屏 传感器——力传感器 传感器——力传感器 传感器——应变片 传感器——压强 传感器——半导体应变片 传感器——压强传感元件 传感器——压强测量电路 传感器——血压计 传感器——磁传感车速控制 传感器——霍尔效应演示 传感器——磁测量 传感器——位移传感器 传感器——超声测距 传感器——压电原理 传感器——压电效应 传感器——压电薄膜扬声器 传感器——PTC热敏电阻 传感器——加速度传感器 传感器——加速度传感器 传感器——加速度传感器应用 传感器——WSN基石 测试仪器与传感器——提纲 传感器——接口分类 传感器——超声测距传感器 传感器——灰尘传感器 传感器——3D磁传感 传感器——光照传感器 传感器——气体传感器 Thank you all ！ 接口自定义 万用表、示波器与频谱仪 信号源与矢量网络分析 传感器分类与原理 典型传感器接口与使用 按照传感器用途分类：位移传感器，加速度传感器，力传感器，温湿度传感器，力传感器，压力传感器，流速传感器，光强传感器，粘度传感器，气体浓度传感器，3D磁传感器… 按照测量性质分为三大类： 物理传感器； 化学传感器； 生物传感器； 总体上，机械制造专业物理传感器较多。 按照物理原理分类： 电参量式（电阻，电容，电感）； 磁电式（磁电效应，霍尔效应，磁栅）； 压电式； 热电式； 光电式； 辐射式（红外，超声波传感器）； 总特点，物理特性?定量电信号。 压强传感器 压力传感器 微传感器的尺寸大多为毫米级，甚至更小。例如：压力微传感器可以放在注射针头内，送入血管测量血液流动情况。 加速度传感器 三轴陀螺仪 显微照片 1988年美国科学家研制。 转子直径120微米，厚1微米。在 380V电压驱动下，最大转速每分钟500转。 环形陀螺仪 Wii 健身运动 游戏很好玩， 工作原理是什么？ 使用者翻动手机选择“响铃”或“震铃”； 摇晃手机变换不同的铃声和游戏； 音乐和壁纸随着人们的动作而变化。 摇晃你的手机 传感器 空隙 隔离点 保护膜内的金属层 玻璃上的电阻层 这里的触摸屏就是一种传感器 电子计价秤 悬臂梁 应变片 固定端 敏感元件 力 传 感 器 将力学量转换为电量的装置称为力传感器。 金属形变 力学量 电学量 如何测量力？ 应 变 片 电阻丝 保护层 绝缘基片 受力方向 上面两只应变片 下面两只应变片 固定端 受力端 在悬臂梁的两个侧面各粘贴2片电阻应变片 压强传感器采用压阻式压力传感元件。 它是利用单晶硅的压阻效应制成的器件。 当它受到气体压力时，半导体应变片的电阻率发生变化，从而输出电压变化。 压力传感元件 当半导体材料受到外力作用时，其电阻率会发生变化，这种现象称为半导体的压阻效应。 压强传感器使用半导体应变片。 对半导体材料而言，当应变片变形时，主要是 ρ 发生改变，而 L 和 S 的变化相对很小，可以忽略不计。 R = ρ · L／S 真空室 基片 硅膜片 气压 硅杯 侧视图 应变片 应变片 硅膜片 应变片分布图 用单晶硅制成硅杯，其中间部分形成硅膜片，在硅膜片上制作 4片电阻值相等的应变片。 当气体作用于硅膜片时，硅膜片弯曲，并使 应变片产生形变。 R1 R2 R4 R3 当硅膜片形变时，外圈的应变片被拉伸，R1和R4的电阻值变大；而内圈的应变片受到压缩，R2和R3的电阻值变小。 电桥失去平衡，输出与气体压力成正比的电压信号 U = I·△R。 R1 R2 UA R3 R4 U＝I·△R UB I R1 R2 R3 R4 F 侧视图： 压强 传感器 气阀 气泵 放气管 三通管 接传感器 气泵 袖 带 气阀 压强 传感器 磁铁