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扩散生产线 教育资料 1、净化间 2、常用单位 3、关于灰尘、脏污 4、关于划伤 5、灰尘、划伤、脏污对制品的影响 6、工程异常的早期发现 7、进入净化间顺序 2014.06.20 宮本 秀信 1、净化间 净化间 （C/R）指的是保持温度、湿度、洁净度*在规 定范围内、常时对其进行管理的房间。 灰尘很少的房间。 房间内使用的装置、部品、药品、水、气体等都是为 半导体制造所特别设计的。 （不纯物少，所使用的材质不易出现灰尘垃圾） *洁净度指的是对象物的洁净状态。 净化间概略图 空气中的温度、湿度控 参考 制在一定范围内。 医院手术室 （ICU） 空气的流向 ULPA过滤器 ISO CLASS 7 外 部 一般房间 空 ISO CLASS 9 调 机 作业室 用力室 空调机 开孔地板 作业室区域内 用力室区域内 0.1 μm的灰尘数在 0.1 μm的灰尘数在 100,000个/m3 以下 10,000,000个/m3 以下 规格名称：ISO14644-1 各房间的清洁度 对象微粒直径：0.1um～5um Class的概念：1m３中粒子数 个数上限（个/m3） 清洁度class 粒径0.1um 粒径0.5um 作业场所 着装 ISO Class 4 104 352 扩散作业室 穿无尘衣 （白衣） ・发网 352 5 ・无尘帽 ISO Class 5 10 3,520 扩散作业室 ・口罩 ISO Class 6 106 35,200 ・无尘衣 ・鞋套靴 ISO Class 7 107 352,000 用力室、CMP室 ・专用鞋 ISO Class 8 108 3,520,000 无尘帽 等 ISO(Int