热处理对红外窗口镀层金属的影响-激光与红外.PDF

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 红外材料与器件 文章编号 热处理对红外窗口镀层金属的影响 史梦然 曹雪峰 赵建忠 华北光电技术研究所北京 摘 要 采用直流磁控溅射法制备红外透过窗口 窗的镀层金属 分别讨论了热处理温度 和热处理时间对窗金属化体系力学特性的影响 用纳米压痕仪测试仪测试窗金属化 体系的显微力学特性 并用金相显微镜观测金属薄膜的表面形貌 发现退火温度对 窗片上 的金属薄膜的力学特性有较明显影响 关键词热处理红外透过窗口金属薄膜力学特性 中图分类号文献标识码 引 言 元素的相互反应 形成界面化合物或界面合金 国内外红外透过窗口材料主要有锗硅蓝宝 制备好的金属薄膜经过一段时间膜层可 石 能产生裂纹脱落 这是因为在金属薄膜制备时膜 对于不同波段的红外器件 可选用不同的红外 窗口 可是三种材料的可焊性很差因此需要在焊 层的内部结构包含了各种各样的晶格缺陷变形和 接前进行金属化改善它们的可焊性 宝石窗口一 应力 为了消除这些影响可以把制备好的薄膜放 般采用高温共烧或是电镀镍金的方法 硅窗片大多 置在高温下退火一段时间使膜层和基片之间膜层 采用了以为粘附层的多层金属化体系 对于 与膜层之间的各种应力得到调整晶格发生改变排 窗片的金属化研究尽管在国内外已经广泛展 列规则 开但很少有文献报道 锗窗金属化膜层的热处理 锗窗金属化膜层失效分析 金属薄膜热处理的作用大致可分为三个方面 可使金属膜层晶化 消除金属膜层内应力 可 磁控溅射法制备的金属薄膜由于磁控溅 射属于低能量范围的物理气相淀积的方法基片 减少金属膜层内的缺陷 原则上热处理温度 应比淀积温度高才有效 不同材料的最佳热处理温 温度比较低粘附层和 基片间以物理吸附为