真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层性能的影响-中国表面工程.PDF

第 30 卷 第 1 期 中 国 表 面 工 程 Vol. 30 No. 1 2017 年 2 月 CHINA SURFACE ENGINEERING February 2017 doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20160726002 真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层性能的影响 1 1 1 2 1 1 张正权 ，金永中，陈昌浩，常 鸿 ，林修州，崔学军 (1. 四川理工学院 材料科学与工程学院，四川 自贡 643000; 2. 成都齐兴真空镀膜技术有限公司，成都 610064) 摘 要: 为提高TiAlSiN涂层的力学性能，研究了真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层微观组织和力学性能的影响。 利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、自动划痕仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪等表征其表面形貌、物相 组成和力学性能。结果表明：热处理引起了涂层的晶格畸变，降低了TiN 固溶体相的平均晶格常数，导致其衍射峰向 高角度偏移；热处理会粗化涂层表面，并导致TiAlSi 中间过渡层界面消失。经过800 ℃热处理后，涂层的纳米硬度和 结合力达到最大值，分别为35.01 GPa和54.45 N ；涂层的平均摩擦因数最小，由热处理前的0.679降低至0.372 ，比热处 理前下降了约45.2% 。 关键词: TiAlSiN涂层；真空热处理；显微结构；力学性能 中图分类号: TG174.444 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2017)01–0070–07 Effects of Vacuum Heat Treatment on Properties of TiAlSiN Coatings Prepared by Arc Ion Plating 1 1 1 2 1 1 ZHANG Zheng-quan , JIN Yong-zhong , CHEN Chang-hao , CHANG Hong , LIN Xiu-zhou , CUI Xue-jun (1. Department of Materials Science and Engineering, Sichuan University of Science and Engineering, Zigong 643000, Sichuan; 2. Chengdu Qixing Vaccum Coating Technology Co. Ltd., Chengdu 610064) Abstract: In order to improve the mechanical properties of TiAlSiN coatings, the effects of vacuum heat treatment on the microstructure and mechanical properties of TiAlSiN coatings prepared by arc ion plating was studied. The surface morphologies, phase composition and mechanical properties of the TiAlSiN coatings were characterized by scanning electron microscop