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溅射Cu-Cr合金微晶涂层的氧化
第 36卷 第 3期 金 属 学 垃 V01_36 N0.3
2000 年 3 月 ACTA METALLURGICA SINICA March2000
1)中国科学院金属腐蚀与防护研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室,沈阳110015
2)沈阳化工学院机械工程系,沈阳 110021
3)中国科学院金属研究所,沈阳 110015
擒 要 采用磁控溅射{击制备了不同含Cr量的Cu—c 合金徽晶涂层,并研究其在700与800℃ 0lMPa纯氧气中的氧化
结果表明:Cu-Cr合金徽晶涂层的氧化行为明显不同于普通的Cu—Cr合金,Cu—Cr合金擞晶涂层氧化后均形成了连续的Cr2O3
膜,率文结合双相合金氧化的特点对实验结果进行了讨论
丁 24f
文tern号 0412-1961(2000)03~0279—03
T钉f7
0XIDAT10N BEHAⅥ 0R 0F SPUTTERED M ICROCRYS.
TALLINE Cu—CrCOATINGS
FU Guangyan1,2j GUAN Hengren ) rU nl】, Yaanshi¨,ZHA0 ZeIiang1) Wu Weitao1)
. . .
I】StateKeyLabora~ryforCorrosionandProtection.InstituteofCorrosionandProtectionofMetalsTheChineseAcademy
ofSciences.Shenyang 110015
21ShenyangInBt让uteofCheroicalTechnology~Shenyang 110021
31In6tituteofMetalResearch.TheChinees Academy0fsciences.Shenyang110015
Correspondent:FUGuangyan,associateprofessor,Tel:(o2)‘258s∞oiIE-maiI:gyFu~ICPM.syb.me.c礼
M anllftcTiptreceived 1999-10-09.inrevisedfo眦 200-001-05
ABSTRACT TheoxidationofsputteredmicrocrystallineCu-crcoatingswasstudiedin0.1M PaO2at
700and8o0℃ .TheresultsindicatethattheoxidationbehaviorofmicrocrystallineCn-Crcoatingsisvery
dlfierentfrom theconventionalCu-Cralloy.A continuousCr2031ayes formedonmicrocrystallineCu-Cr
coatings.na doxidationofthemicrocrystallineCu-Crcoatnigs containing40%Crproducedanexclusive
externalCr2O3scale.Theresultswerediscussedwithrespecttopropertiesoftwo-phasealloy.
KEY W ORDS Cu_Cralloy,microcrystaUinecoating.oxidation
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