激光在清洁领域的应用.pdf

技术研发 2006年第6期133 激光在清洁领域的应用 王兰萍 （常州轻工职业技术学院） 摘 要 文章介绍了激光在清洁领域中的运用，阐述了激光清洁技术的机理、使用方法以及使用该项技术时应注意的问题。 关键词 激光清洁 微粒 基体 随着科技的不断发展，类似微电子器件等，其密度越来越高、 3 激光清洁技术的分类 尺寸越来越小，但随之而来的污染控制问题则越来越成为最关键的 根据清洁时在基体表面是否用液体薄膜，把激光清洁分成两 问题之一。像集成电路硅基片的加工和光刻技术、微组装技术等关 类：干式激光清洁和蒸汽激光清洁。 键技术要求相当严格。在此高精度的要求下，器件的清洁要求也非 3.1 干式激光清洁 干式激光清洁是将激光直接辐射在需清洁 常严格，即使采用传统清洁法中精度最高的超声波清洁法进行清 的物体表面，使基体表面的污染物被清除。该方法一般对有机膜的 洁，也无法清除掉微电子产品中的次微米微小颗粒，严重影响了高 清洁比较有效。 精度电子工业的发展。基于这一现状，通过多年的研究，激光清洁 3.2 蒸汽激光清洁 该方法就是先在需清洁的物体表面涂上一 技术应运而生。 层液体薄膜，然后将短波激光照射在污染物和基体上，使基体和污 。 1 激光清洁技术具有的优点 染物瞬间吸收能量，温度迅速升高 当达到一定程度后，使界面液 体吸收大量热量后产生大量气泡，该气泡在瞬间由于热量来不及散 （1）清洁过程中不使用化学剂，不会对环境造成污染； 发就形成爆炸性的蒸发，从而将基体表面的污染物随爆炸性的液体 （2）清洁过程非接触，无反力，从而减小了损伤基体表面的 薄膜气泡一起弹出，很快蒸发干净，到达清洁基体表面的目的。该 可能性，可对不坚固表面和风化表面进行清洁； 方法不仅可以有效的清除有机物，而且能有效的清除微粒。 （3）清洁的可控性好，可选区清洁，也可以用遥控的方法对 常规清洁技术难以到达或危险的地方进行清洁，与计算机技术集成 4 应用激光清洁时应注意的问题 可以实现清洁过程的自动化。 4.1 功率密度控制在适当范围 在进行激光清洁时，功率密度 （4）清洁范围广非常广泛，可用于：①金属、矿石、混凝土 是清洁效果好坏的主要因素之一，它必须控制在一定范围内，上限 。 等硬的物体，也可以是木材等较软的物体的清洁；②半导体和微电 不超过基体的损伤阈值，下限不低于污染物的损伤阈值 在此范围 子器件的清洁；③金属表面橡胶层的清洁；④铝合金设备表面漆层 内，功率密度越高清洗效果越好。 4.2 要使激光束倾斜辐射 的剥落；⑤金属表面的除锈、防锈；⑥建筑、工艺美术品的翻新； 激光辐射时，要使激光束倾斜辐 ⑦文物保护及古董、字画的除垢。 射，这样可使激光束正好照射到微粒和基体