第九章X射线光电子能谱课件.ppt

电子能谱 根据激发源的不同，电子能谱又分为: X射线光电子能谱(简称 XPS) (X-Ray Photoelectron Spectrometer) 紫外光电子能谱(简称 UPS) (Ultraviolet Photoelectron Spectrometer) 俄歇电子能谱(简称 AES) (Auger Electron Spectrometer) X射线光电子谱(XPS)X-ray Photoelectron Spectroscopy XPS ?? 引言 X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。 X射线光电子能谱分析是瑞典皇家学院院士，Uppsala大学物理研究所所长K.Siegbahn教授及其同事经过近20年的潜心研究而创立的，并于1954年研制出世界上第一台光电子能谱仪。他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化学体系。 K.Siegbahn给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，简称为“ESCA”，这一称谓仍在分析领域内广泛使用。 随着科学技术的发展，XPS也在不断地完善。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。 §1 电子的结合能Eb §2 自旋－轨道耦合 §3 自旋－自旋耦合 § 4 化学位移 化学位移现象起因及规律 3 能量分析器 半球形电子能量分析器 筒镜形电子能量分析器 4 检测器 金属铝 低结合能端的放大谱(精细结构) 2 化学状态的鉴定 ①Ni-P合金的Ni 2p3/2 XPS谱 ②Ni-P合金的O 1s XPS谱 ③Ni-P合金中P的2p XPS谱 3 在催化研究中的应用 MoO3/Al2O3催化剂的XPS谱 样品的深度分析 筒镜分析器示意图 筒镜分析器 由两个同轴圆筒组成，外筒加负电压，内筒接地，在空心内筒圆周上有入口和出口狭缝。自两圆筒公共轴线上“源”点发射的电子以一定角度穿过入口狭缝，受内、外筒之间径向场作用，相同能量的电子穿出出口狭缝聚焦于轴线上检测狭缝处，然后进入探测器。 检测器通常为单通道电子倍增器和多通道倍增器 光电子或俄歇电子流 倍增器 通道电子倍增器是一种采用连续倍增电极表面（管状通道内壁涂一层高阻抗材料的薄膜）静电器件。内壁具有二次发射性能。电子进入器件后在通道内连续倍增，增益可达 109 。 多通道检测器是由多个微型单通道电子倍增器组合在一起而制成的一种大面积检测器，也称位敏检测器（PSD）或多阵列检测器。 5 电荷中和枪 常用低能电子枪或其他电荷中和器，用以抵消绝缘样品表面荷电效应。 6 离子枪 常用惰性气体（如Ar）离子枪，用以清洁样品表面或进行深度剖面分析的刻蚀。 7 快速进样室 目的是在不破坏分析室超高真空的情况下能进行快速进样。快速进样室的体积很小，以便能在5～10分钟内能达到10-3 Pa的高真空。有一些谱仪，把快速进样室设计成样品预处理室，可以对样品进行加热，蒸镀和刻蚀等操作。 8 离子源 目的是对样品表面进行清洁或对样品表面进行定量剥离。在XPS谱仪中，常采用Ar离子源。Ar离子源又可分为固定式和扫描式。固定式Ar离子源由于不能进行扫描剥离，对样品表面刻蚀的均匀性较差，仅用作表面清洁。对于进行深度分析用的离子源，应采用扫描式Ar离子源。 §6 样品的制备技术 在通常情况下只能对固体样品进行分析。 1 样品的大小 块状样品和薄膜样品，其长宽最好小于10mm, 高度小于5 mm。 2 粉体样品 有两种常用的制样方法。一种是用双面胶带直接把粉体固定在样品台上，另一种是把粉体样品压成薄片，然后再固定在样品台上。前者的优点是制样方便，样品用量少，预抽到高真空的时间较短，缺点是可能会引进胶带的成分。后者的优点是可以在真空中对样品进行处理，如加热，表面反应等，其信号强度也要比胶带法高得多。缺点是样品用量太大，抽到超高真空的时间太长。在普通的实验过程中，一般采用胶带法制样。 3 含有有挥发性物质的样品 在样品进入真空系统前必须清除掉挥发性物质。一般可以通过对样品加热或用溶剂清洗等方法。 4 表面有污染的样品 在进入真空系统前必须用油溶性溶剂如环己烷，丙酮等清洗掉样品表面的油污。最后再用乙醇清洗掉有机溶剂，为了保证样品表面不被氧化，一般采用自然干燥。 5带有微弱磁性的样品