第二章电子光学基础课件.ppt

2.色差 玻璃透镜对不同波长的光具有不同的焦距，磁透镜对不同能量的电子也有不同的会聚能力，这正是引起色差的原因。如图所示 其效果与球差相似，在轴向距离范围内也存在一个最小的色差弥散圆斑，半径为 rC： Cc为透镜的色差系数，随激励磁电流增大而减小。 引起能量变化的主要原因为： 电子加速电压不稳定，引起照明电子束能量的波动。 电子与物质相互作用后，电子能量受到损失。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 像散 像散是由于透镜磁场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。主要是生产工艺、透镜污染，使透镜磁场不完全旋转对称，而只是近似的双对称场。这样产生在透镜的XZ、YZ两个对称面方向的焦距不同，使物像不能聚焦，形成弥散的椭圆斑，最小的弥散圆斑半径为rA：如图所示 由于这种像散发生在轴上，因此也称为轴上像散。像散将影响电镜的分辨能力，一般电镜中都有消像散器，可以把像散校正到容许的程度。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 4.电磁透镜的分辨本领 是电磁透镜的最重要的性能指标，它受衍射效应、球差、色差和像散等因素的影响。电磁透镜的理论分辨本领为： 式中A为常数，电磁透镜的理论分辨本领为0.2nm左右。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 JEOL电镜的分辨率为： 电镜具有场深大、焦深长的特点。 所谓场深是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，物平面可沿透镜移动的距离。如图所示: 当r=1nm，α=10-3-10-2 rad时，Df约为200-2000nm，对于加速电压为100kV的电子显微镜，样品厚度一般控制在200nm以下，在透镜场深范围内，试样各部位都能聚焦成像。 2.2 电子光学基础 2.2.5电磁透镜的场深和焦深 所谓焦深是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，像平面可沿透镜轴移动的距离。焦深反应了观察屏或照相底板可在像平面上、下沿镜轴移动的距离。 2.2 电子光学基础 2.2.5电磁透镜的场深和焦深 2.3 电子与固体物质的相互作用 2.3.1 电子散射 当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样时，在原子库仑电场作用下，入射电子方向改变，称为散射。 原子对电子的散射可分为弹性散射和非弹性散射。在弹性散射过程中，电子只改变方向，而能量基本无损失。在非弹性散射过程中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的减少，转变为热、光、X射线和二次电子发射。 原子对电子的散射可分为： ?原子核对电子的弹性散射 ?原子核对电子的非弹性散射 ?核外电子对入射电子的非弹性散射 2.3 电子与固体物质的相互作用 2.3.2 内层电子激发后的弛豫过程 它可以是辐射跃迁， 即特征X射线；也可以 是非辐射跃迁，如俄歇 电子发射;这些过程都 具特征能量，可用来进 行成分分析。 当内层电子被运动的 电子轰击脱离原子后，原 子处于高度激发状态，它 将跃迁到能量较低的状态， 这种过程称为弛豫过程。 2.3 电子与固体物质的相互作用 2.3.3 各种电子信号 在电子与固体物质相互作用过程中产生的电子信号，除了二次电子、俄歇电子和特征能量损失电子外，还有背散射电子、透射电子和吸收电子等。 1、背散射电子 电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，有一部分电子的总散射角大于90°，重新从试样表面逸出，称为背散射电子，这个过程称为背散射。可分为弹性背散射、单次（多次）非弹性背散射。通过接收电子的探测仪，可探测不同能量的电子数目。如图所示： 扫描电镜和电子探针中应用背散射电子成像，称为背散射电子像。其分辨率较二次电子像低。 2.3 电子与固体物质的相互作用 2.3.3 各种电子信号 2、透射电子 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，电子从另一表面射出，这样的电子称为透射电子。 TEM就是应用透射电子成像的。如果试样只有10-20nm的厚度，则透射电子主要由弹性散射电子组成，成像清晰。 如果试样较厚，则透射电子有相当部分是非弹性散射电子，能量低于E0，且是变量，经过磁透镜后，由于色差，影响了成像清晰度。 2.3 电子与固体物质的相互作用 2.3.3 各种电子信号 3、吸收电子 入射电子经过多次非弹性散射后能量损失殆尽，不再产生其它效应，一般被试样吸收，这种电子称为吸收电子。利用测量吸收电子产生的电流，既可以成像，又可以获得不同元素的