第二章电子源.pptVIP

2.1 各种灯丝的物理原理 一台电镜或者使用热灯丝，或者是使用场发射灯丝，两者不可兼备； 场发射灯丝提供单色的电子波，而热灯丝发射的电子单色性较差，有点类似于可见光中的白光。 A 热发射 J：灯丝的束流密度 T（K）：操作温度 F：功函数 A：Richardson 常数 高熔点材料 （W灯丝） 具有低的功函数的材料 （LaB6灯丝） 热灯丝： W灯丝 点状 W灯丝 LaB6或其它低功函数的材料，如CeB6 B 场发射 场发射灯丝与热灯丝的原理截然不同，其基本原理是在物体尖端处的电场强度E明显增加，如果将一个电场施加到半径为r的球形点上，那么： 为了使场发射顺利进行，表面要保持干净，表面要保持没有污染物以及不能氧化，那么就要求在超高真空条件下(小于10-11Torr)进行操作，在这种情况下，场发射灯丝的使用温度可以与周围的温度一样，此过程被称为“冷场发射”； 与上述不同的是，也可以在较低的真空条件下通过加热针尖来保持它的清洁，这种热能能够在很大程度上帮助电子发射，因此电子用不着通过隧道效应穿过势垒，对这种所谓的“热场发射”，表面经过处理的ZrO2明显改善了发射特征，尤其是改善了灯丝的稳定性，因此这种所谓的“Schottky”发射变得越来越受欢迎，目前，一些新的灯丝如半导体p-n结场发射也引起人们极大的兴趣 2.2 电子束的特性 电子束需要一定的特性，这种特性由灯丝本身以及与电子枪如何配合所决定，一般通过“亮度”、“相干性”以及“稳定性”等参数来描述灯丝的特性，我们在这一节将会对这些不同的特性逐一进行介绍，介绍它们的含义以及为什么它们在EM中如此重要，然后对对各种灯丝的性能进行比较，我们将会看到，没有一种灯丝对所有的应用都是最好的，但对一种特定的应用而言，却存在一种或几种最适合的灯丝 A 亮度 束流密度是一种通常的术语，然而亮度的概念却更为重要，亮度是灯丝单位立体角中的束流密度 ie、d0以及a0都是在电子枪这一大背景下定义的，也就是说，电子在离开灯丝的一点后被聚焦，这样: 束流密度(单位面积上的束流)等于ie/p(d0/2)2 灯丝的立体角W=pa02 在这个方程中隐含着一个重要的结论，即对热灯丝而言，b随着加速电压的增加而线性增加，这也是发展中间电压(300-400kV)电子显微镜的一个重要原因 真实的数据 ： 对于一个100keV冷场发射灯丝，可以将1nA的电流作用到直径为1nm的样品区域上，如果将这个束流密度转换成电力单位，可以发现作用到这一小区域的束流密度几乎达到150MW/mm2，很显然，在如此之大的束流密度下观察样品无疑会使样品发生改变，也就是我们所说的辐照损伤 B 时间相干性和能量传播 相干性是描述一束电子束与其它电子束是否“同相”的一个物理概念，我们知道白光是不相干的，这主要是由于它所包含的光子具有不同范围的波长(或颜色)，因此为了得到具有相干性的电子束，必须产生一种具有相同波长的电子束，就像单色光一样。我们称这种相干性为时间(temporal)相干性，它是一束波中各种波之间相似性的一种度量，如果一束波中所有波的这种性质都相同，则我们说它具有相同的相干长度，相干长度定义如下： 必须给灯丝提供稳定的电源以获得一个稳定的高压，以便让所有的电子都有一个小的，从而使电子得到一个单一的波长。 C 空间相干性和灯丝尺寸 空间相干性与灯丝尺寸有关，最理想的空间相干性指的是所有的发射电子同时离开灯丝上的一点，因此灯丝的尺寸是决定空间相干性的关键性因素，较小的灯丝尺寸具有较好的相干性，同时也提供较高的亮度。空间相干性可以通过观察电子的相干条纹来确定，这与光学中利用棱镜的菲涅尔条纹确定可见光的相干性是等效的，在相干照明下，可以定义有效灯丝尺寸dc，那么： 尽量减小灯丝尺寸，比如使用场发射电源； 使用较小的照明光栏，这样能够减小a0； 如果灯丝尺寸较大，(如发卡式W灯丝)，可以降低加速电压，增加 l D 稳定性 除了提供给灯丝的高压需要具有稳定性之外，灯丝电流的稳定性也同样重要，否则，荧光屏上的强度将会处于变化之中，很难得到合适的曝光条件，并且在许多情况下导致微分析无法进行。 热灯丝通常都比较稳定，但第一次安装的灯丝有些例外，或者是灯丝即将断的时候，除了这些以外的99%的时间里热灯丝都是稳定的。 冷场发射灯丝发射束流不太稳定，电回馈线路需要花费5%的时间去稳定灯丝。超高真空能够使灯丝的稳定性得到切实的改善。 2.3 电子枪 仅有电子源是不够的，我们还需要对电子束进行控制，并把它放进电镜照明系统中。我们需要把灯丝装进电子枪中，电子枪起一个透镜的作用，它能够将离开灯丝的电子进行聚焦， 热灯丝和场发射灯丝的设计是不同的 A 热电子枪 W灯丝和LaB6灯丝二者都被用作三极电子枪阴极，除了阴极之外，还有