超纯氩氦净化技术.pdfVIP

第 27卷第 3期 低 温 与 特 气 Vol27 ,No3 2009年 6月 Low Temp eratu re and Sp ecialty Gases Jun, 2009 　 ·综述评论 · ① ( ) 超纯氩 氦 净化技术 孙福楠 ,吴江红 ,于大秋 ,李英辉 ,柳 　尉 (光明化工研究设计院 ,辽宁 大连 甘井子 甘北路 34 号 　11603 1) 摘要 :介绍了超高纯氩气的提纯方法 。通过采用联合的单元操作 ,可以生产 999999%纯度的超纯氩气 , 同时大大 减少了贵重吸气剂的消耗 。 关键词 :超纯氩 ;脱氧 ;吸附;干燥 ;吸气剂 ;低温净化 ;分子筛 ; ZrA l; ZrV Fe 中图分类号 : TQ 117 文献标识码 : A 文章编号 :(2009) 03000 105 doi: 10 3969 / j . issn . 2009. 03. 00 1 Pur if ica tion Techn iques For Production of Ultra Pur ity A rgon ( Helium ) SUN Funan ,WU J ianghong, YU D aqiu , L I Yinghu i, L IU W ei ( Guangm ing R e search D e sign In stitu te of Chem ical Indu stry, D alian 11603 1, Ch ina ) A b stract: The pu rification techn ique s for p roduction of u ltra h igh p urity argon are inve stigatedBy u sing the comb ined un it op eration , the u ltrapu rity argon can be p roduced , at the sam e tim e , com sump tion of the exp en sive getter can be reduced greatly. Key W ords: u ltrapurity argon; deoxidation; adsorp tion; drying; getter; cryogenic purification;molecu lar sieve; ZrA l; ZrV Fe 　　通常认为纯度 ≥999999% 的氩为超纯氩 。在 化充装过程中污染很难有效控制 , 所以在实际操作 微电子 、直读光谱仪 、电光源 、特殊焊接等领域 , 中很少采用此工艺 。针对 A r 中存在的杂质 , 通常 一般意义的国标优质高纯氩 , 其纯度是无法满足需 采用如下几种净化方法 。 要的 , 正如有关资料所介绍的: 灯泡 “跳丝 ”, 产 生 “黑沟 ”; 谱线强度不足 。关于氩气净化技术的 1　低温吸附法 研究 , 国外许多国家都开展了此项工作 , 其中意大 利赛斯公司的 GETTER 吸气剂在国际上处于绝对