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医用加速器用氢闸流管 李宗超 曾利明 国力真空电器有限公司 摘要：本文对氢闸流管的基本结构、工作特点、发展状况和医用加速器用闸流管的技术 要求、应用特点、国内外市场做了概述和评论。 关键词：氢闸流管、玻璃结构、陶瓷结构 氢闸流管、磁控管（速调管）和加速管一起构成了医用加速器中的三大类关键电真空器 件。他们分别在脉冲调制器，磁控管振荡器（或速调管放大器）和形成高能电子射线和 X 射线中发挥着重要作用。 加速器的微波功率源如图 1 所示，它的任务是产生并输出具有一定频率、一定脉冲包络 宽度、功率为一定大小的超高频振荡。 脉冲调制器 磁控管 触发器 加速管 （闸流管） 振荡器 直流高压电源 速调管放大器 图 1 加速器的微波功率源方框图 氢闸流管是脉冲调制器中的关键器件，它把脉冲间隙储存的电能在脉冲期瞬间转换形成 强功率脉冲，激励磁控管振荡器产生超高频振荡。之所以采用氢闸流管作为主开关器件的原 因在于，它具有功率大、效率高，脉冲调制器线路简单，使用方便和造价低廉等优点。 从世界上第一只氢闸流管诞生到现在已经过去半个多世纪了，氢闸流管作为一种高功 率 高效率的脉冲开关器件越来越受到重视，总产值近 5 年来几乎增长了一倍。氢闸流管是 、 否会被固态器件所代替的讨论，已很少再有人会感兴趣了。 随着现代科学技术的发展，氢闸流管在雷达脉冲调制器、激光器、高能物理、医用电子 直线加速器、工业电子直线加速器和撬棒保护电路等领域得到了越来越广泛的应用。 我国从上世纪 50 年代引进苏联的氢闸流管（ ΤΓΝ-35/3~ ΤΓΝ-400/16 ）技术开始， 6 到 0 年代中苏关系破裂，苏联专家撤走，我们把重点转向西方，学习英、美的先进技术。 后来在“独立自主，自力更生”的思想指导下，各厂、所进行的国产化自行设计。我国的闸 流管事业走过了一条曲折而漫长的道路。 一、氢闸流管的结构和工作特点 氢闸流管就其管壳结构基本可以分为玻璃型、陶瓷型和金属-陶瓷型三大类。管内结构 随用途不同，设计变化很大，品类繁多。但基本结构为管内填充氢气或氘气的三极管和四极 -4 管（含辅助栅极）。氢闸流管不加灯丝电压时管内处于高真空状态（≤2×10 Pa），加灯丝 电压后储氢器可维持氢闸流管在所需要的最佳工作氢压。 陶瓷闸流管是当今闸流管的主流结构，目前除 E2V和 772 厂外，其它厂家几乎不生产玻 璃结构的闸流管。众所周知，陶瓷结构除具有坚固耐用外，还有很多优点，比如：结构设计 合理、体积小、功率大（可以设计多间隙来实现高电压）、适合规模生产等。 陶瓷闸流管作为脉冲开关，进一步提高功率，从理论上没有限制，工艺上也完全能实现。 典型的陶瓷结构如图 1所示。目前商品闸流管的电参数已经做到： 1 脉冲功率：1GW 平均功率：1MW 工作电压：200KV 脉冲电流：100KA 平均电流：50A 图 2 典型的陶瓷结构 玻璃结构型闸流管（如图 3 所示）是 E2V 公司的经典产品，工艺细腻、结构独特是别的 制造厂家无法比拟的，我国玻璃闸流管同他们有较大的差距。 但玻璃结构型本身存在着无法逾越的固有缺点，进一步提高开关的工作电压和电流几乎 已经不可能，因而除了老产品不会有进一步发展。玻璃闸流管的开关能力目前做到： 脉冲