MATLAB在微观结构SEM图像定量分析中应用.pdfVIP

第23卷第5期 电 子显微学报 V01—23．No．5 2004年10月 J伽r腮lofCm眦seElectron 2004．10 MicroscopySode锣 文章编号：1000一628l(2004)05—579—05 毛灵涛，薛 茹，安里千 (中国矿业大学(北京校区)工程力学测试研究所，北京100083) 摘 of 要：本文介绍利用MATIAB的图像处理工具箱，开发用于微观结构sEM图像定量研究的Analysis Micmstmcture系统。由sEM获取的图像经该系统处理后，可获得颗粒或孔隙微观结构定量信息以及相应的图表分 析。实例分析表明，借助MATLAB处理微观结构sEM图像，可方便地满足研究者的要求。 关键词：MATLAB；微观结构；SE晰图像；定量研究 中图分类号：TP312；TNl6文献标识码：A electron 种交互式的数值计算软件，又是一门高级科学计算 扫描电子显微镜(scanningmicmscope简 称sEM)测试技术是现在应用最普遍最重要的微观语言，它把计算、图示和编程集成到一个易用的交互 测试技术之一，可研究微结构单元体的大小、形状、 式环境中，用大家熟悉的数学表达式来描述问题和 表面特征以及各单元体之间在空间上的排列及其相 求解方法，从而使许多用c或FORTRAN语言实现 互作用形式。对SEM图像进行定量分析主要采用 起来十分复杂和费时的问题用MATLAB可以轻松 数字图像处理技术。一般的sEM测试系统配有专 地解决。MATLAB的典型应用包括：数学计算、算法 用图像处理软件，如sIsAnalvsis3．0，JEOL的sEM研究、数据分析和可视化、图像处理、建模和仿真等。 Aforce ver4．02等，但不能满足使用者对图像处理的MATLAB针对不同学科推出了多种工具箱，如图像 多种要求，数据处理需要借助ExcEL或AccEss等处理工具箱、信号处理工具箱、小波工具箱、神经网 软件进行分析，自动化程度较低。文献[1]中介绍了 络工具箱以及通信工具箱等。此外，MATLAB还提 应用PHOTOSHOP进行SEM图像定量研究简单有效供了图形用户界面设计开发环境GuIDE，可以开发 的方法，但PHOT0sHOP主要是进行图像艺术处理可视化的图形界面，可生成独立于MATLAB运行环 的软件，可用于图像定量分析的功能少，数据分析方 境的可执行程序。 法较单一。 MATLAB在图像处理方面有着明显的优势：(1) 它具有强大的矩阵运算功能，在进行一些简单的图 MATLAB作为一种应用广泛的编程工具，自美 国Mathworks公司推向市场以来，历经几十年的发像变换时可以避免很多烦琐的计算；(2)图形显示方 展，已成为国际上优秀的科技应用软件之一。它语 便，有专门的灰度及彩色图像显示函数，甚至在调试 法简单，函数丰富，具有优秀的图形显示功能及强大 过程中也能随时观察图形的变化；(3)带有丰富的图 的人机交互能力。MATLAB对计算机软件与硬件环像处理函数库，如wavelettoolbox，Image pmcessing 境无特殊要求，已在研究单位中得到广泛应用。本 toolbox等。图像处理工具箱中几乎包括了经典图像 文利用MATLAB的图像处理工具箱及图形用户界处理的所有方面，从基本的图像增强到图像分割， 面设计开发环境GuIDE，开发了微观结构sEM图像MATLAB都提供了简便的函数调用来实现许多经典 of