第四章圆电子透镜.ppt

电子光学 第四章 圆电子透镜 4-16均匀场的聚焦作用—长磁透镜 均匀磁场对电子具有聚焦作用，前面已经得到证明， 这里进一步了解其聚焦的特性。 设有一初速为 的电子进入磁感强度为 由于磁场只改变电子的运动方向，而不改变其速度，因此在磁场中 速度为常数，电子可以恒定速度沿z方向运动，并沿圆柱面作螺旋运动。 ，方向为z的磁场， 电子在磁场中的运动方程为： 而 常数 电子沿z方向作匀速运动。将上式前两式积分后得： 电子受到的电磁力为 磁力受到的向心力为 电子旋转一圈所用的时间为 电子旋转一圈所周的长度为 而 所以焦点的位置为 （3）基点没有意义，电子轨迹是空间曲线，旋转子午面没有意义。 （1）电子聚焦是因为旋转一周后回到原点的缘故。 （2）放大率为1，不与轴相交。 4. 浸没物镜 （1）结构和特点 其由阴极和两个光阑（一个为控制极，一个为阳极）组成，阴极发射出速度 很小的电子， 在阴极面上，电位不为零，但很小，在阴极附近区域场强很大，即加速场很大，到达阳极附近电位趋近于常数，即阳极电位。 （2）场分布和聚焦特性 由于阴极附近场强很大，因此电子从阴极面发射出后很快聚成束，阴极面即为物面。 但从阴极面发射出的电子具有不同的逸出角，因此轨迹初始的 斜率很大，分布很广称为宽电子束。 由于初始速度很小，聚焦作用很强，很快聚焦成束，然后形成交 叉点，因此透镜为聚焦透镜，如图所示 （3）焦距 式中： ——是阴极和控制极之间的场强，正负符号由控制极电位低于 或高于阴极电位而定； ——是控制极与阳极之间的场强，其恒小于零； ， ——是光阑中心处电位，第一个光阑属于 单光阑透镜的 第一种，为聚焦透镜， ，因此，第一个焦距远远 但 小于第二个焦距，即聚焦作用远大于散焦作用，透镜成聚焦透镜。 浸没透镜的焦距依赖于控制极和阳极电位，以及其几何尺寸。 第二个光阑属于单光阑透镜的第五种，为散焦透镜， （4）电子枪的结构 浸没物镜既为电子枪 根据拉格朗日—亥姆霍兹公式， 式中 ， 分别为物像平面的电位； ， 为物像点的高度； 为电子束在物像平面处张角； 电子枪的基本要求是具有足够大的电子流密度， 很小的横截面积，束的强度可以调制。 上式也可写为 从上式可以看出，要使电子束有更细的直径，需要有更小的物 的变化范围很小，因此，像处的张角 尽可能大，但 与 是对应的，如果增加 ，需增加一个预聚焦透镜，如图所示。 即采用双透镜系统 以及物处具有小的张角 ，而物的大小 影响束流的大小， 预聚焦透镜也称为第一透镜，包括发射电子的阴极、控制电子束 强度的控制极和建立加速电场的阳极，即构成了浸没物镜。 第二透镜称为主聚焦透镜，可以由静电透镜，磁透镜或复合透镜 构成，其作用是将最小截面圆成像于荧光屏上，最终获得尽可能 小的光斑。 从阴极面上发出的具有不同的逸出角的电子会聚情况： （1）从阴极上某点a,b,c发出的电子束； （3）在浸没透镜加速电场的作用下，从阴极发出的基本束很快会聚成一细束 （4）这些基本束会聚并相交于浸没物镜的像方焦平面上，从阴极上不同点发 出的逸出角相同的电子射线均相交于此主焦面上。 （5）电子束在此平面上形成交叉点，整个阴极面上发出的所有电子束在该处 会聚成最小截面圆。 （6）最小截面圆上的电流密度分布： （2）垂直于阴极面的是主射线，是电子束的轴线，其他与主射线形成 一个角度，围绕主射线形成一个基本的束； ：最小截面圆 c 处的电位； ：= 伏（T是阴极的绝对温度）； ：浸没物镜的焦距。 最小截面圆的半径可以用下式决定： 最小截面圆的半径随浸没物镜的焦距减小而减小，随阴极温度增大而增大。 4－4短磁透镜 旋转对称磁场的透镜作用 旋转对称磁场和旋转对称电场一样，也具有聚焦和成像的作用。 在旋转对称的磁场中，电子的旁轴轨迹方程表示为： 转角的变化为： 为电子的加速电位，应为正值， 从轨迹方程中可以看出： 的方向如何， 这意味着轨迹的斜率变小，也就是说，电子在经过磁场后应向轴会聚 所以无论磁感强度 均为负 会聚的本领正比于磁感应强度的平方，而与方向无关 另外，根据圆柱坐标的运动方程，r 方向的洛仑兹力可表示为： 要使电子聚焦，应该使 0。 在近轴情况下，将磁场的一阶近似式代入上式方程中，得到加速度 和角速度分别为： 因此，洛仑兹力可以表示为： 从上式也可以看出该作用力恒小于零，因此也可以说明磁场的聚焦作用。 2. 磁透镜定义和分类 （1）短磁透镜 当物象离开透镜的距离较之场的宽度大得多时，那么这种磁透镜 可以看成短磁透镜。 根据上面的分析，可知短磁透镜对电子轨迹起聚焦作用。 短磁透镜的物象空间由于是在场外，因此是无场空间，在无场空间， 电子轨迹是延直线运动的。 这时，透镜的焦距比场的宽度大很多，可以假设，在透镜中，电子轨迹