一、扫描电子显微镜（SEM）（进口设备）.PDFVIP

一、扫描电子显微镜 （SEM）（进口设备） 1台 1.工作条件 1.1 电源：220V （±10%），50Hz。 2. 技术要求 2.1 二次电子 （SE）探头分辨率：30KV 时≤3.0nm；3KV 时≤8.0nm。 *2.2BSE 探头分辨率：30KV 时≤4.0nm；5KV≤10.0nm。 2.3 放大倍数：最低倍率≤5倍，最高倍率≥300,000。 2.4 真空系统。 2.4.1 具有高低真空功能。 2.4.2 真空度：≥0.1mPa；低真度：10-650Pa。 2.4.3 真空泵系统，涡轮分子泵和机械泵各1台。 *2.4.4 高低真空一键切换，无需手动。 2.5 电子光学系统。 *2.5.1 电子枪：具有6 级自动偏压功能。 2.5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，更换方便 2.5.3 灯丝饱和自动调节，具有高中低三个档位。 2.5.4 灯丝：预对中灯丝。 *2.5.5 物镜光阑：4 孔可动式物镜光阑。 2.6 样品室和样品台。 2.6.1 样品台尺寸：装载直径≥200mm 样品。 *2.6.2 五轴马达驱动样品台，具有彩色外界图片导航功能。 2.6.3 马达样台安装在样品仓门上，开仓后在样品室外部装卸样品台。 *2.6.4 非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作。 2.7 探测器及成像系统。 *2.7.1 二次电子探测器：二次电子像,电子束对样品的损伤与污染程度要尽可能小。高灵敏 背散射电子探测器：半导体型背散射探头，成分像、形貌像和三维像。 2.7.2 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像，也可四幅图像同 时成像，BSE 可分别成像，并和SE 任意叠加混合。 2.7.3 图像捕捉模式：快慢扫描捕捉、积分捕捉。 2.7.4 电镜操作控制系统：鼠标、键盘、旋钮盒、轨迹球。 3.X 射线能谱仪 2 3.1*探测器：分析型SDD 硅漂移电制冷探测器，不低于20mm 有效面积，无需液氮冷却， 仅消耗电能。 3.2 具有中英文操作软件界面，可切换。 3.3*能量分辨率：Mn Ka 保证优于129eV, 元素分析范围:Be4～Cf98 。 3.4*谱峰稳定性：1,000cps 到100,000cps，Mn Ka 峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV 3.5*能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度不低于8192*8192，全谱面分 布图清晰度不低于4096*4096 3.6*探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇。 3.7 图像灰度、对比度自动调节，二次电子像及背散射像可同时采集。 3.8 能谱应用软件采用最新的AZtec 平台，支持用户自定义模式及账户管理，支持分屏显示 及远程控制，支持中、英文等多种操作界面 3.9*高帽滤波法，自动扣除背底 3.10 谱定性分析:可自动标识谱峰, 无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，对重叠峰进行 手动峰剥离 3.11*定量分析: 可对抛光表面或粗糙表面定量分析。具有完备的虚拟标样库; 具备有标样定 量分析及无标样定量分析方法; 可以得到归一化和非归一化定量结果, 可以用化学配位法 得到非归一化结果。用户也可以自己建立标样库。 3.12*具备全谱面分布和全谱线扫描分析功能。 3.13 可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上,并以该图为中心做微区分析,可选择点,矩形, 任意不规则区域进行分析。并且可提前设定任意多点或区域，能谱可依次进行自动分析 4. 离子溅射仪 4.1 真空泵连接真空室，控制单元提供电压。 4.2 工作电压：固定，放射电流可调。 4.3 真空系统：台式设计内置旋转泵，转速为不低于120L/min，封闭真空系统，工作时8-10 Pa 的仓内压力保证溅射顺利进行。 4.4 靶材：Au-Pd。 4.5 附件、备件、特殊工具和消耗品：各种保险丝、密封圈、各种光缆、专用工具、样品托、 金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝，机械泵油，标准样品台，截面样品台，装样工具一套。 二、差示扫描量热仪 （进口设备） 1套 1. 配置 1.1 分析软件：可进行自由转换的中英文控制软件，可对采集数据进行分析和处理。 1.2 制冷系统：机械制冷。 1.3 样品压样机：具有≥2 种的压头，能完成普通铝制坩埚的压制密封，可进行固体和液体样 品的压制。 1.4 电脑和打印机：电脑 （≥4GB 内存，≥500G硬盘，带有DVD 刻录功能，≥20英寸液晶显 示器）。激光打印机。 2