微纳柔性制造与印刷电子材料-mat.pdf

第３３卷　第３期 中国材料进展 Ｖｏｌ３３　Ｎｏ３ 　 ２０１４年３月 ＭＡＴＥＲＩＡＬＳＣＨＩＮＡ Ｍａｒ２０１４ 微纳柔性制造与印刷电子材料 １ １ １ １ １ ２ ２ 刘艳花 ，申　溯 ，周小红 ，方宗豹 ，浦东林 ，朱鹏飞 ，陈林森 （１．苏州大学教育部“２０１１计划”纳米科技协同创新中心，江苏 苏州２１５００６） （２．苏州苏大维格光电科技股份有限公司，江苏 苏州２１５０２６） 摘　要：微纳加工技术主要应用在光电子和ＩＣ领域，随着国际新一轮印刷电子技术的发展，电路线宽越来越细，对印刷电 子材料与应用技术提出更高要求，传统印刷术很难实现数微米以下精密电路。针对国际行业研究现状、工艺及最新进展，详 细阐述微纳柔性制造技术的原理与特点。基于微纳图形化激光直写光刻技术、卷对卷纳米压印技术及其配套（微纳填充、转 印和软压印）技术，以大尺寸透明导电材料的研发为例，微纳柔性制造在 １０６６８ｃｍ幅面上使印刷电路的线宽达到 １５ ｍ。 μ 微纳柔性制造方法属于“加法”制造。展望了柔性制造在印刷电子材料产业发展中的前景和需求，指出微纳柔性制造与印刷材 料的结合，有可能成为新一轮大尺寸柔性显示与触控、传感器件等产业发展的有力工具和推动性力量。 关键词：微纳柔性制造；印刷电子；金属网格透明导电膜 中图分类号：ＴＨ１６５　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１６７４－３９６２（２０１４）０３－０１２９－０６ ＭｉｃｒｏＮａｎｏＦｌｅｘｉｂｌｅＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇａｎｄＰｒｉｎｔｅｄ ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＭａｔｅｒｉａｌｓ １ １ １ １ １ ＬＩＵＹａｎｈｕａ，ＳＨＥＮＳｕ，ＺＨＯＵＸｉａｏｈｏｎｇ，ＦＡＮＧＺｏｎｇｂａｏ，ＰＵＤｏｎｇｌｉｎ， ２ ２ ＺＨＵＰｅｎｇｆｅｉ，ＣＨＥＮＬｉｎｓｅｎ （１．ＳｕｚｈｏｕＮａｎｏＴｅｃｈＣｏＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒ，ＳｏｏｃｈｏｗＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５００６，Ｃｈｉｎａ） （２．ＳＶＧＯｐｔｒｏｎｉｃｓ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５０２６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＭｉｃｒｏｎａｎｏｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓｍａｉｎｌｙｕｓｅｄｉｎｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃａｎｄＩＣｆｉｅｌｄ．Ｗｉｔｈｔｈｅｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌｎｅｗ ｒｏｕｎｄｏｆｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｐｒｉｎｔｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｃｉｒｃｕｉｔｌｉｎｅｗｉｄｔｈｂｅｃｏｍｅｓｔｈｉｎｎｅｒａｎｄｔｉｎｎｅｒ，ｗｈｉｃｈｃｈａｌｌｅｎｇｅｓ ｔｈｅｒａｌａｔｅｄｐｒｉｎｔｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｍａｔｅｒｉａｌｓａｎｄｉｔｓａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｐｒｉｎｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓａｒｅ ｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏａｃｈｉｅｖｅｓｕｃｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｃｉｒｃｕｉｔｓ．Ｂａｓｅｄｏｎｍｉｃｒｏｎａｎｏｐａｔｔｅｒｎｉｎｇｌａｓｅｒｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ，ｔｈｅｒｏｌｌｔｏｒｏｌｌｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄｒｅｌａｔｅｄｎａｎｏａｓｓｅｍｂｌｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓｆｏｒｔｈｅｍｉｃｒ