多晶炉维护手册.pdf

多晶炉维护手册 1 前言 这本手册有保养，维修 GT DSS 多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使 用和保养多晶炉很重要，因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。 手册内容： 前言： 安全注意事项 第一单元： 预防性保养 预防性保养日程安排表 预防性保养程序 第二单元： 维修 更换顶部热电偶，氧化铝管和氧化锆管 更换TC2 更换溢流丝/拆除 DS 块 组装下炉腔刹块 调整下炉腔水平 调整隔热笼的水平 安装/拆除加热器-DSS240 安装/拆除加热器-DSS450 加热器电极的检查步骤 安装/拆除隔热层 安装/拆除铜电极 顶部隔热笼的安装 清洗氦气阀 清洗水流量计 第三单元： 故障指导 解决警铃声响 解决设备故障 解决操作问题 2 安全注意事项 安全标志： 以下安全标志将会出现在本手册，来提醒使用者注意特殊情况或告知有可 能的危险。请确保维修人员，安装人员熟悉这些标志。 危险 出现此标志代表所讲述的情况很危险，如果不避免的话可能会 导致死亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。 警告 出现此标志代表所讲述的情况有危险，会造成重伤。只有在完 全了解了警告的讯息，才能开始进行。 小心 出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障，中度受伤 或资料遗失。 注意 出现此标志代表提供重要的相关资料，提醒或建议。 安全措施： 所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。 在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。 在硅碇出炉时，硅碇温度大于 400℃，绝对不能触碰。 硅碇在出炉时会快速冷却，这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。 设备多处有高压电，高热度部位，请注意设备上的安全标示。 当接近有高压电处，请确保你有只手放在口袋里。 操作时请穿橡胶底的鞋子。 操作时一定要小心，不要自以为是。 机器不使用时真空泵一定需关上。 3 第一单元：预防性保养 参考用（预防性保养日程表） 真空测量器校准 粗略量程的真空测量器 精密量程的真空测量器 真空泵系统维修 更换油–机械泵 更换油–罗茨泵 检查轴带 检查在支持泵上的电磁继电器 下炉腔提升系统 螺旋起重器 软轴 闸门 离合器 水电缆 控制平台 SlimPaks SlimPak AC 测量 SlimPak DC 测量 气体流量控制器 检查比率阀 清洗比率阀 检查热区 DSS-240 DSS-450 4 参考用（预防性保养日程表） 建议依照以下时间表定期执行预防性保养： 维修项目 执行时间 真空测量器校准 每 3 个月一次 真空泵系统维修 请参照供应商所提供的资料 检查油量 一星期一次 更换油 –机械泵