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物理光学2.3精品PPT
* * 光学镀膜的作用:增透,增反,滤波 1. 单层膜 2.3 光学镀膜 假设薄膜的厚度为 ,折射率为 ,基片折射率为 ,光由折射率为 的介质入射到薄膜上,采用类似于平行平板多光束干涉的处理方法,可以得到单层膜的反射系数: (2 .3-1) 式中:r1是上表面的反射系数,r2是下表面的反射系数,? 是相邻两个出射光束间的相位差, 说明: ?r 是单层膜反射系数的相位因子,由下式决定: 当光束正入射时,薄膜两表面的反射系数分别为: 单层膜的反射率公式: 单层膜的反射率: (2 .3-7) n0=1.0 n2=1.5 对于给定的基片和介质膜, 和 为常数,R随n1h的变化规律: ② 时 膜层的反射率减小,透射率增大,即 该膜层具有增透的作用,称为增透膜。当 时 反射率最小,此时可以发挥最好的增透效果。这个最小反射率 为 重要结论:(对正入射) ① 当 时, 与未镀膜时的情形一样。 ③ 当 时, 该单层膜的反射率较未镀膜时增大,即该膜具有增反作用,称为增反膜。 并且当 且 该单层膜的反射率达到最大 由上式可知:当镀膜材料的折射率 时, 就有: ,此时达到完全的增透效果。 由上述两点: ⑤ 对给定的增透膜,仅对某一波长而言。 ④ 薄膜的光学厚度n1h为?0/4的偶数倍或半波长?0/2的整数倍是,薄膜层对光的反射无影响。 单层氟化镁膜的反射率随波长和入射角的变化 (1)等效界面法—— 双层膜系: 第二层膜与基片组成的单层膜系 的反射系数为: 等效界面(如图所示): 双层膜系的反射系数: 2. 多层膜 双层膜的反射率 : 以上讨论的是双层膜系,对于两层以上的膜系计算更加复杂,但原理相似。 用等效界面方法 基片与K层构成的等效界面,反射系数为: K-1层膜加入,构成新的等效界面,反射系数: 对于K层膜系,假设: 各膜层的折射率是:n1、 n2、……、 nK; 各膜层的厚度是:h1、h2、……、hK; 界面的反射系数:r1、r2、……、rK 。 ?0/4 膜系的多层高反射膜示意图 多层高反射膜 常采用的多层高反射膜是一种由光学厚度为?0/4的高折射 率膜层和低折射率膜层交替镀制。采用以下符号: GHLHLH……LHA=G(HL)PHA P =1, 2, … G H L H L H L H L H L H A (1) 基片G镀一层?0/4高折射率膜层(H),薄膜的反射率为: 等效折射率: (2)再镀一层?0/4低折射率膜层(L),构成HL膜,此双层膜的反射率是: 有效折射率 (3)膜层为(2p)偶数层时,(HL)P膜系的等效折射率是 相应的反射率是
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