光弹调制器式多通道反射差分光谱技术.PDFVIP

第8卷 第3期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．8 No．3 2010年 5月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Mav 2010 光弹调制器式多通道反射差分光谱技术 胡春光 ，孙立东 ，李艳宁 ，ZEPPENFELDPeter2，胡小唐 (1．天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津 300072； 2．奥地利约翰 ·开普勒大学实验物理研究所，林茨 3-4040) 摘 要：反射差分光谱术(RDS)是研究材料表面和薄膜光学各向异性属性的重要手段．现有的技术以光弹调制器 (PEM)式单通道测量模式为主，可以实时监测单个波长的反射差分信号，但全光谱测量则需要采用扫描波长的方 式完成，耗时长，不适合在线