硅基异质结太阳电池钝化层的研究.pdfVIP

太阳能学报 第37 卷第11 期 Vol. 37, No. 11 2016年11 月 ACfAENERGIAE SOLARIS SINICA OV. , 2016 文章编号:0254-0096(2016)11-2983-05 硅基异质结太阳电池钝化层的研究 杨苗l ，郁操1 ，张悦l ， 2 ， 张津岩l ，徐希翔l ( 1.福建锦阳精工设备有限公司成都研发中心，成都 610200; 2. 北京工业大学薄膜科学技术与研究实验室.北京 100124) 摘 要:研究硅基异质结太阳电池的表面钝化层对电池性能的影响，主要工作包括: 1)对比非晶磁本征层a-Si: H( i) 与非晶硅氧本征启a-SiO.: H( i ) 对c-Si 界面的钝化效果的作用，及其对电池性能的影响;2)研究不同a-Si: 日( i) 厚度对电池性能的影响:3)不同沉积速率a-Si : H( i ) 对c-Si 界面的钝化效果和电池