耐热感光材料.doc

耐热感光高分子的合成与应用 王杨 应用化学1212 1220109222 摘要 耐热感尤高分子化合物是功能高分子材针中很有前途的一类新品种。本文扼要地综述了这类高分子的发展历史和当前的研究状况,着重介绍了它的合成和应用,并阐述了作者的一些看法. 关键词: 感尤高分子(Photosensitivepo;ymer) 付热高分子(Heat一resistantpolymer) 光致抗蚀Al1(Photoresist) 聚酞亚胺(Po1yi,nide) 前言 耐热感光高分子是目前相当活跃的一个研究领域,它与通常的感光高分子一起,已发展成为高分子化学、光化学与半导体工艺化学原理的交叉学科。 光刻工艺在半导体电子器件和集成电路的制造中占有重要的地位,光刻工艺中常用感光 高分子作为抗腐蚀涂层,在这种场合,感光高分子又称作光致抗蚀剂.最早应用的是某些天然的水溶性高分子(如酪素等)和重酪酸盐所组成的光致抗蚀剂.后来,由于合成高分子的发展,合成出一系列具有感光性能的高分子化合物(如聚乙烯醇肉桂酸醋类等)来取代上述的天然高分子原料,使得光致抗蚀剂具有更好的稳定性和抗蚀能力.但是,由于电子器件不断向微型化和高密度方面发展(二极管,三极管,集成电路,大规模集成电路),硅平面工艺把光刻和扩散结合起来,尺寸达到了微米数量级、这就必然需要一系列新型的高质量的感光高分