Hennecke 安装及调整检测模块 培训文件.pdfVIP

Hennecke 培训文件 检测模组的安装与调整 HENNECKE WIS 目录 1， Hennecke 安装与调整-厚度 模组 2， Hennecke 安装与调整-线痕模组 3， Hennecke 安装与调整-隐裂模组 4， Hennecke 安装与调整-沾污模组 5， Hennecke 安装与调整-轮廓模组 6， Hennecke 安装与调整-几何尺寸与翘曲 Hennecke 厚度模块调节校准 在正常跑片时，需要对当前检测模块的检测状态，对于厚度模块，主要是看Thinckness 检测曲线图来看： 检查点:1) 厚度三跟曲线是否正常，无明显波动以及偏差。 2) 正查硅片检测结果无明显异常，Thick和TTV过大过小 3) 用二次样片检查，偏差结果应该在+/-1之内 由于生产工艺等因素，会造成硅片的厚度与电阻率有所不同，因此需要通过厚度 检测模块来对硅片的厚度及电阻率进行检测。 下图为 Hennecke 分选机 E+H 厚度检测模块 皮带水平调节，使皮带保持左右水平。 厚度校准 将设备的 KVM switch 选择在 Server Computer 上，确保设备不工作，停止的状 态，皮带