集成电路中的薄膜材料.ppt

;1、研究方向及实验进展 1.1、铁电材料简介 1.2、实验进展 1.3、后期工作 2、集成电路中薄膜材料应用 2.1、集成电路简介 2.2、发光二极管和异质结激光器 2.3、超晶格 ;1、研究方向及实验进展;1.1、铁电材料简介;声表面波器件 微型压电马达 热释电探测器 微型压电驱动器 （压电性、热释电性）;1.2、实验进展;1.3、后期工作;2、集成电路中薄膜材料应用;2.1、集成电路简介;2.2、发光二极管和异质结激光器;图 发光二极管工作原理图;不同种半导体材料之间的接触都称为 半导体异质结。 单异质结激光器可以分为同型异质结（N－n或P－p）和异型异质结（N－p或P-n）。;2、超晶格与量子阱;由于超晶格和量子阱的每一层厚度只有几个纳米，小于电子的平均自由层厚度，从而出现量子化现象，导致所制备的材料具有优异的光学和电学性质。 超晶格和量子阱通??需要通过金属有机化学气相沉积技术（MOCVD）和分子束外延（MBE）来制备，因此对实验条件要求较高。;That`s all，thank you！