第8-9篇(检测系统).pdf

检测与转换技术 检测与转换技术 第一章 绪论 第二章 检测与转换技术的理论基础 第三章 电参量传感器 第四章 电能量传感器 第五章 光纤传感器 G TIAN G TIAN 第三章电参量检测装置 3.1 电阻式传感器 3.2 电感式传感器 3.3 电容式传感器 3.3 电容式传感器 工作原理和类型 X→△C→U，f X ：位移、加速度、液位、料位、振动、湿度）S 原理式 εS ε ε S δ C r 0 δ δ ε 类型 图3-65 电容传感器原理图 变间隙式、变面积式和变介电常数式。 变极距( δ）型 变面积型(S)型 变介电常数( ε)型 图3-66 电容传感器结构图 1、变极距型电容传感器 （1）简单变极距型电容传感器 灵敏度推导 S εS ε Δδ −1 2 (1 ) [1 / C ( +/ Δ) − +] Δ δ +δC0 δ δ L δ δ−Δ δ δ ≈ (1 +ΔC/ 0 ) δ δ ΔC C 1 0 k 。 g Δδ δ 思考：若以容抗为输出，输入输出关系？ （2 ）差动变间隙式电容传感器 动极板上移Δδ， −1 2 C C (1=−Δδ /δ) C [1=+Δδ /δ+(Δδ /δ) +…)] 1 0 0 −1 2 C C (1=+Δδ /δ) C [1=−Δδ /δ+(Δδ /δ) −…)] 2 0 0 ΔC C =−C 2C =Δδ/ δ[1+(Δδ/ δ)2 +(Δδ/ δ)4 +…] 1 2 0 ΔC ≈2C Δδ/ δ 0 C δ ΔC 1 C0 2