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豆 丁 推 荐 ↓ 精 品 文 档 Imaging 显影关键点及其对精细线路制作的影响 田 玲 李志东 （广州市兴森电子有限公司，广东 广州 510730） 摘 要 文章结合过显侵蚀干膜的原理，试验设计不同的显影条件，分析干膜线路和蚀刻线路的情况，确定显影 关键点及其对精细线路制作的影响。 关键词 显影；显影（像）点；干膜；精细线路 中图分类号：TN41，TQ571.6 文献标识码：A 文章编号：1009-0096（2009）5-0030-04 The Critical Point of Developing and Its Impact on Fine Lines Manufacture