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上海理工大学研究生课程试题*学年第1学期考试课程微机电系统设计与制造学号姓名得分简答题（每题5分，共55分）举例说明MEMS的尺度效应。解释静电驱动光学微镜的工作原理。举例说明压电致动器的工作原理。列举2种热敏致动器的微结构。简述MEMS加速度计的工作原理与应用。简述MEMS陀螺仪的工作原理与应用。简述毛细管电泳芯片的工作原理与应用简述非线性微分方程的数值计算方法。解释RF MEMS开关的吸合电压的物理含义。设计压阻式硅微压力传感器的信号采集电路。MEMS加工工艺与传统机械加工工艺有何区别？计算题（每题15分，共45分）硅微谐振式压力传感器在压力为零时的频率方程为1-cosxchx=0，利用数值计算方法求[2.0,5.0]区间的根，并给出程序调试界面与迭代过程。（15分）硅微振动式陀螺仪在工作过程中需要惯性质量块处于谐振状态，其动力学模型如下图所示。设致动电极梳尺个数为N, 梳尺间距为d，宽度为W。求解：（1）如何让惯性质量块产生谐振? （2）列出产生谐振所需要施加的电压V(t)的表达式，并做解释。（15分）硅微振动式陀螺仪的动力学模型如下图所示有一稳态静电场，长宽分别为120um，90um，上下左右四边的电压值分别稳定在500V，0V，300V，400V，求中间6个节点的电压值。（15分）简答题1、（1）在空中举着的物体手离开时会下落这一宏观领域的知识对微小的灰尘颗粒却不适用；