LCD制程中热处理对ITO膜电学和光学性质的影响.pdfVIP

维普资讯 文章编号：1006—6268(2005)02—005卜O4 LCD制程中热处理对 ITO膜电学 和光学性质的影响 沈奕 t，邱育明 ，蔡友庆 ，杨柳根 (1_汕头大学物理系，广东汕头 515063：2．汕头超声显示器有限公司，广东汕头 515041) 提 要：研究了不同方块电阻值及不同生产厂家的ITO玻璃在LCD生产制程中受热处理(主要 是PI固化和热压过程)后，其 ITO膜方块电阻和透过率的变化情况及其原因分析，为液晶显示 器设计中ITO玻璃的选取提供了参考和依据。 关键词： 液晶显示器；氧化铟锡；处理 中图分类号：TN873 文献标识码：B Heattreatment’Saffectonphoto一 electro— character of ITO in LCD’Smanufacture SHENYi，QIUYu—ming，CAIYou—qing，YANGLiu—geng (1．Shantouuniversityphysicaldepartment，OuangdongShantou515063： 2．ShantouGoworldDisplayCo．，OuangdongShantou515041，China) Abstract：Afterheattreatment (PIsolidifyandheatpress)ofsomesquare—resis— tanceand ITO glassfrom differentmanufacturer，the chandgeof it’S square—resiS— tanceand transmissivitywereresearched．Andanalyzed thereason of the chandge． The data for select ITO glass in LCD designwerepresented． Keywords：LCD：ITO：heattreatment 求决定，盒厚的变化范围不大且影响小。因此，实际 要解决的问题就是在上述条件已经确定的情况下， 如何降低引线电阻(R 的问题。 液晶显示器 (LCD)的显示效果决定于 LCD类 型、占空比 ／偏压 比、驱动波形、驱动频率、显示面 品 吼 ×∑了1 (告：引线的长宽比) 0 0 积 (S)、引线 电阻 (品T0)、盒厚、PI厚度、LC材料等参 1 在优化引线设计使对应于不同显示面积 (s)的∑ 数。但对某一种具体的LCD，LCD的占空比／偏压比、 显示面积、驱动波形和驱动频率、PI材料及厚度就 相对均衡之后，就可以确定最大可使用的ITO玻璃 已经基本确定，LC材料的选用也基本上由LCD的要 的方阻 。 收稿 日期：2004—09—23 在本文，我们对 同一玻璃厂家不同的ITO方 维普资讯 蘸 阻、PI固化温度，不同玻璃厂家相同的 IT0方阻进